昊量光電聯(lián)合法國Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析儀!該波前傳感器采用Phasics公司技術(shù)-四波橫向剪切干涉技術(shù)，可以工作在190-400nm波段票罐，消色差叉趣，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度，SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學(xué)元件表征（DUV光刻该押、半導(dǎo)體等領(lǐng)域）和表面面型檢測（透鏡和晶圓等）疗杉。
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193nm紫外波前傳感器（512x512高相位分辨率）助力半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展！
摘要：
昊量光電聯(lián)合法國Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析儀!該波前傳感器采用Phasics公司技術(shù)-四波橫向剪切干涉技術(shù)蚕礼，可以工作在190-400nm波段烟具，消色差，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度奠蹬，能夠精確測量紫外光波前的細(xì)微變化净赴。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學(xué)元件表征（DUV光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域）和表面檢測（透鏡和晶圓等）罩润。
193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)中具有重要作用玖翅。該傳感器具有高分辨率，消色差割以，對震動不敏感金度，高靈敏度（2nm RMS）等特點(diǎn)，可以為半導(dǎo)體制造和光刻機(jī)技術(shù)提供關(guān)鍵波像差數(shù)據(jù)严沥，有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量猜极，推動行業(yè)的發(fā)展。
在光刻機(jī)行業(yè)中消玄，高精度的波前傳感器是關(guān)鍵組件之一跟伏。它可以實(shí)時監(jiān)測和校正光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中的誤差丢胚，從而提高光刻質(zhì)量和成品率。這款新的紫外波前傳感器的推出受扳，將進(jìn)一步提升光刻機(jī)的性能携龟，加速半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。
波前傳感器原理介紹：
193nm波前分析儀采用四波橫向剪切干涉技術(shù)勘高，該技術(shù)是一種用于測量激光波前峡蟋、光刻物鏡波像差，光學(xué)元器件面型表征的技術(shù)华望，其原理是測試光波經(jīng)過兩個正交（0蕊蝗、π）的相位光柵，獲得四個干涉光束赖舟，四束光兩兩干涉蓬戚，通過測量這四個干涉光束的干涉后的光強(qiáng)分布來計算光波的相位分布。該技術(shù)采用0和π的二維光柵作為分光器件宾抓，利用該二維光柵將測試光分為四束子漩，并使它們發(fā)生橫向剪切干涉，得到的單幅載頻干涉圖中包含兩正交方向的差分波前信息洞慎，通過特定的分析和定量計算（反傅里葉變換）可實(shí)現(xiàn)瞬態(tài)波前檢測痛单。
波前傳感器主要功能介紹：
一劲腿、光學(xué)和光學(xué)系統(tǒng)計量
1.1 光刻物鏡和光學(xué)鏡頭計量
Phasics的四波橫向剪切干涉測量 （QWLSI） 波前傳感技術(shù)的獨(dú)特功能允許測量高數(shù)值孔徑光束(Up to NA:0.95)旭绒，而無需任何中繼光學(xué)器件。這一獨(dú)特的優(yōu)勢簡化了測量設(shè)置焦人。在單次拍攝中挥吵，同時測量波前誤差 （WFE）和調(diào)制傳遞函數(shù) （MTF）。物鏡花椭、子組件和zui終組件的鑒定是完整且易于實(shí)施的忽匈。事實(shí)上，SID4波前傳感器只需放置在聚焦后幾毫米處的發(fā)散光束中矿辽。測量后丹允，借助 Phasics 軟件模塊 Design Pro，波前測量可以與理論 Zemax 模擬進(jìn)行比較袋倔。
1.2 復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)對準(zhǔn)/計量
參考球體或顯微鏡物鏡可以很容易地放置或擰到R-Cube模塊的出口處雕蔽。在此配置中，點(diǎn)源創(chuàng)建一個發(fā)散光束宾娜，該發(fā)散光束注入被測系統(tǒng)中批狐。實(shí)時波前顯示允許監(jiān)控和優(yōu)化光學(xué)對準(zhǔn)。
1.3面型檢測
當(dāng)集成到反射裝置中時前塔，Phasics SID4波前傳感器可以執(zhí)行面型檢測嚣艇。Kaleo 軟件輸出3D 曲面圖和凸面或凹面（如透鏡承冰、鏡子或模具）的曲率半徑。ISO 10110 標(biāo)準(zhǔn)定義的所有表面質(zhì)量參數(shù)食零，如表面不規(guī)則度困乒、粗糙度和波紋度，都是從該測量中計算得出的慌洪。也可以在任何方向上提取表面輪廓顶燕，并且可以將結(jié)果與理論表面進(jìn)行比較凑保。
二冈爹、激光測試和自適應(yīng)光學(xué)控制
Phasics的波前傳感器以其無與倫比的高分辨率（512x512）和易用性而著稱。一臺儀器可以涵蓋廣泛的用途：光束測試欧引、光學(xué)系統(tǒng)對準(zhǔn)频伤、自適應(yīng)光學(xué)和等離子體表征。Phasics SID4波前傳感器為超快和超強(qiáng)激光研究實(shí)驗(yàn)室和激光制造環(huán)境中的研發(fā)工程師芝此、生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)和研究人員提供了全面的多功能性憋肖。使用自適應(yīng)光學(xué)器件對光束進(jìn)行鑒定和校正可以在從紫外到長波比橡膠的任何類型的激光系統(tǒng)上進(jìn)行：連續(xù)高功率、飛秒太瓦和拍瓦鏈婚苹、固態(tài)激光器岸更、OPCPA、氣體激光器膊升、可調(diào)諧激光器等怎炊。
2.1 激光檢測
SID4 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合，可對激光進(jìn)行完整的診斷：波前像差廓译、強(qiáng)度分布评肆、激光束質(zhì)量參數(shù)（M2、發(fā)散角非区、束腰等）瓜挽。Phasics 的波前分析儀可以定位在光學(xué)裝置的任何點(diǎn)，無論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的征绸。Phasics SID4波前傳感器適用于從紫外（190nm）到遠(yuǎn)紅外(14um)的任何連續(xù)或脈沖激光久橙。
2.2 自適應(yīng)光學(xué)
Phasics波前分析儀可與任何可變形光學(xué)器件兼容：如壓電可變形鏡、機(jī)械可變形鏡管怠、電磁可變形鏡和MEMS可變形鏡以及空間光調(diào)制器和自適應(yīng)透鏡淆衷。為了校正超快和超強(qiáng)激光，Phasics自適應(yīng)光學(xué)環(huán)路通過波前像差補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)精細(xì)的校正排惨。OASys 自適應(yīng)光學(xué)環(huán)路結(jié)合了 Phasics 獨(dú)特的高分辨率 SID4 波前傳感器和適合項(xiàng)目要求的可變形反射鏡設(shè)備吭敢，OASys可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。
波前傳感器產(chǎn)品分類介紹：
1）190-400nm紫外波前傳感器
2）400-1100nm可見光-近紅外波前分析儀
3）900-1700nm短波紅外波前分析儀
4）3-5um & 8-14um中遠(yuǎn)紅外波前傳感器
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