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使用Phasics SID4相位成像相機(jī)進(jìn)行表面測(cè)量

發(fā)布時(shí)間:2022-06-17 11:22:24 瀏覽量:3461 作者:Paul

摘要

Phasics 3D表面測(cè)量。Phasics SID4相位成像相機(jī)衡怀,可以集成在商業(yè)或者自制的光學(xué)顯微鏡裝置上棍矛。為了提高樣品的整體性能,測(cè)量物體表面特性是一種有效的方法抛杨。對(duì)于此類(lèi)應(yīng)用够委,Phasics的軟件可以分析光程差,并且實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)化為物體表面的形貌怖现。硬件方面茁帽,Phasics相機(jī)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊屈嗤,并且易于使用潘拨。事實(shí)上,Phasics的波前分析儀能夠與實(shí)驗(yàn)室常用的相機(jī)一樣易于集成饶号。整個(gè)相機(jī)可以輕松集成到生產(chǎn)線或者實(shí)驗(yàn)室中铁追。

正文


使用Phasics SID4相位成像相機(jī)進(jìn)行表面測(cè)量


Phasics SID4相位成像相機(jī),可以集成在商業(yè)或者自制的光學(xué)顯微鏡裝置上茫船。為了提高樣品的整體性能琅束,測(cè)量物體表面特性是一種有效的方法。對(duì)于此類(lèi)應(yīng)用算谈,Phasics的軟件可以分析光程差涩禀,并且實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)化為物體表面的形貌。硬件方面然眼,Phasics相機(jī)體積小艾船、結(jié)構(gòu)緊湊,并且易于使用。事實(shí)上丽声,Phasics的波前分析儀能夠與實(shí)驗(yàn)室常用的相機(jī)一樣易于集成礁蔗。整個(gè)相機(jī)可以輕松集成到生產(chǎn)線或者實(shí)驗(yàn)室中觉义。


表面測(cè)量結(jié)構(gòu)



Phasic SID4相位相機(jī)利用的是一種四波橫向剪切技術(shù)雁社,將入射光分成剪切的4束,然后再互相干涉形成干涉圖晒骇,通過(guò)傅立葉逆變換可以得到入射光的相位譜和強(qiáng)度信息霉撵,這是一種消色差的技術(shù),因此白光和LED光源非常適合洪囤。此外徒坡,可以使用任何顯微鏡進(jìn)行測(cè)量,并且不依賴(lài)于偏振瘤缩。如上圖光路所示喇完,SID4相機(jī)位于被測(cè)物體的成像面進(jìn)行探測(cè),使用簡(jiǎn)單剥啤。SID4相位成像相機(jī)可以集成在商業(yè)反射顯微鏡或?qū)S霉鈱W(xué)系統(tǒng)上锦溪。



SID 和 AFM 測(cè)量比較


圖中紅線部分是Phasics測(cè)量結(jié)果,黑線位AFM測(cè)量結(jié)果府怯。

使用AFM測(cè)量表面缺陷刻诊,和使用SID4相位成像相機(jī)一次測(cè)量成型的結(jié)果對(duì)比。


SID4 與 光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x 對(duì)比



使用SID4 HR定量測(cè)量牺丙,以及白光光學(xué)輪廓儀測(cè)量結(jié)果的對(duì)比则涯。兩個(gè)報(bào)告中,第一個(gè)側(cè)重于輪廓冲簿,第二個(gè)側(cè)重于深度測(cè)量粟判。


測(cè)量結(jié)果





Phasics是一家專(zhuān)門(mén)從事相位測(cè)量的法國(guó)公司。Phasics向其客戶提供全系列的產(chǎn)品峦剔,所有這些都是基于獨(dú)特的技術(shù)档礁,即四波側(cè)向剪切干涉技術(shù)。Phasics公司的專(zhuān)長(zhǎng)在于對(duì)這項(xiàng)技術(shù)的深刻理解羊异,以及將其應(yīng)用于從激光和光學(xué)計(jì)量到生物樣品成像等多個(gè)領(lǐng)域的能力事秀。對(duì)于每一個(gè)領(lǐng)域,Phasics都提供了專(zhuān)門(mén)的硬件和軟件的解決方案野舶。在生物學(xué)方面易迹,Phasics提供了SID4Bio,這是一種獨(dú)特的用于活細(xì)胞成像的設(shè)備平道,依賴(lài)于定量相位成像睹欲。


SID4Bio是一個(gè)類(lèi)似照相機(jī)的相位相機(jī),用于活細(xì)胞成像【酱基于獨(dú)特的相位技術(shù)袋哼,它提供了一個(gè)巨大的對(duì)比度增強(qiáng),能夠?qū)罴?xì)胞進(jìn)行無(wú)標(biāo)簽觀察闸衫,從而使長(zhǎng)時(shí)間的延時(shí)采集成為可能涛贯。此外,由于獲得的圖像是對(duì)標(biāo)本引入的局部相移的測(cè)量蔚出,它們提供了關(guān)于標(biāo)本的定量信息弟翘。值得注意的是,它們能夠檢索出標(biāo)本的干質(zhì)量骄酗。這些數(shù)據(jù)也可用于研究各種生物現(xiàn)象稀余,如細(xì)胞生長(zhǎng)或細(xì)胞遷移。


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