得對(duì)比度高的干涉條紋，與窄帶激光干涉相比铅鲤，白光干涉可以定位零級(jí)條紋划提，消除2p相位的誤差，更精確判斷液晶的相位改變量邢享。同時(shí)由于精度的提高鹏往，此種方法可以實(shí)現(xiàn)像素級(jí)相位觀測(cè)。相關(guān)文獻(xiàn)：《基于掃描白光干涉法的LCOS芯片像素級(jí)相位分析》作者：屈銘,鄭俊杰,李敏,桂聰,宋五洲關(guān)于昊量光電昊量光電 您的光電超市骇塘！上海昊量光電設(shè)備有限公司致力于引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品伊履！與來(lái)自美國(guó)韩容、歐洲、日本等眾多知名光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系唐瀑。代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿群凶，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器哄辣、光學(xué)測(cè)量設(shè)備请梢、精密光學(xué)元件等，所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工力穗、光通訊毅弧、生物醫(yī)療、科學(xué)研究睛廊、國(guó)防 ...
干涉形真。得到的干涉條紋的相對(duì)移動(dòng)量即為液晶空間光調(diào)制器的相位調(diào)制量。馬赫-曾德干涉儀通過(guò)計(jì)算干涉圖的相對(duì)移動(dòng)來(lái)得到液晶空間光調(diào)制器的相位調(diào)制情況超全。馬赫-曾德干涉基于干涉原理進(jìn)行測(cè)量咆霜，但是由于裝置需要的參考光為嚴(yán)格的平面波，對(duì)實(shí)驗(yàn)裝置的穩(wěn)定性要求較高嘶朱，此外該方法適用于測(cè)量透射式液晶空間光調(diào)制器蛾坯。徑向剪切干涉方法徑向剪切干涉方法工作原理圖如圖3所示，該方法通過(guò)對(duì)液晶空間光調(diào)制器調(diào)制后的波面與本身錯(cuò)位后放大和縮小的波面產(chǎn)生干涉條紋疏遏，通過(guò)迭代算法分析得到干涉條紋脉课，以得到液晶空間光調(diào)制器的相位調(diào)制特性。圖3在剪切干涉光路中财异，將放大的波面作為參考光倘零，避免了引入額外參考光所帶來(lái)的誤差，保持了系統(tǒng)的穩(wěn)定性戳寸，具有 ...
振，從而形成干涉條紋疫鹊。該技術(shù)在光譜分析袖瞻、精密測(cè)量和光學(xué)傳感等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。圖1 法布里-珀羅干涉儀原理圖圖2 干涉條紋從圖1中我們可以看到拆吆，面光源置于透鏡L1焦平面處聋迎，使得不同方向的光束平行射入干涉儀，在P1枣耀，P2相向的表面鍍有高反膜霉晕，因此光束可以在P1，P2平面鏡中作來(lái)回多次的反射，透射的平行光在通過(guò)透鏡L2匯聚在其焦平面上形成如圖2所示的同心原型的干涉條紋娄昆。法布里-珀羅干涉儀的原理為多光束干涉原理佩微。圖3 多光束干涉原理示意圖由圖3我們可以看出缝彬，一束振幅為A0的光束以入射角θ0入射萌焰，經(jīng)過(guò)多次反射與投射，透射出相互平行的光束谷浅。設(shè)高反膜的反射率為扒俯，因此可得第1束透射光的振幅為，后續(xù)依次為由等 ...
測(cè)量平面間的干涉條紋一疯，能夠計(jì)算出條紋的位相分布撼玄。被測(cè)平面的表面輪廓可通過(guò)位相分布來(lái)確定。下圖為使用激光光源的斐索干涉儀基本的光學(xué)結(jié)構(gòu)墩邀。激光束經(jīng)物鏡掌猛、針孔、準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直眉睹，參考光學(xué)平面與準(zhǔn)直光束垂直荔茬，并采用光楔或減反射膜系來(lái)抑制它的背面反射。參考和測(cè)量面間的干涉條紋經(jīng)電視攝像機(jī)來(lái)探測(cè)竹海。分束器或λ/4波片以及偏振分束器用來(lái)引導(dǎo)光束入射于電視攝像機(jī)上慕蔚。這種斐索干涉儀，需要采用長(zhǎng)焦距的準(zhǔn)直透鏡來(lái)獲得高的精度斋配。干涉條紋函數(shù)I(x,y)：式中孔飒，I。為背景光強(qiáng)度艰争；y(x,y)為條紋調(diào)制函數(shù)坏瞄；φ(x,y)為被測(cè)條紋的位相分布函數(shù)；φ甩卓。為參考面與測(cè)量面間光程差引起的初位相.為了從干涉條紋函數(shù)中獲得位相分布函數(shù)φ( ...
進(jìn)行干涉鸠匀，對(duì)干涉條紋進(jìn)行傅里葉變換，提取一激光的信息和零級(jí)光的信息猛频，利用傅立葉變換進(jìn)行相關(guān)的計(jì)算狮崩，計(jì)算出待測(cè)波前的相位分布，以及強(qiáng)度分布等鹿寻。波前分析儀在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用：半導(dǎo)體行業(yè)的光刻系統(tǒng)依賴于ji其復(fù)雜的激光源和光學(xué)系統(tǒng)睦柴。Phasics公司SID4 系列波前傳感器涵蓋從紫外線（UV,190nm）到長(zhǎng)波紅外（LWIR,14um）的范圍，已被證明在半導(dǎo)體行業(yè)中非常有價(jià)值毡熏，可用于鑒定此類光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)波長(zhǎng)坦敌。越來(lái)越多的研發(fā)或制造工程師將SID4 波前傳感器用于激光源和光學(xué)系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)和計(jì)量。波前傳感器可在單次測(cè)量中獲得完整的激光特性。波前傳感器是支持光刻系統(tǒng)制造商和集成商校準(zhǔn)狱窘、鑒定和監(jiān)控其紫外光源和 ...
微秒級(jí)）捕獲干涉條紋圖杜顺，從而減少環(huán)境擾動(dòng)和被測(cè)件不穩(wěn)定帶來(lái)的影響。市場(chǎng)上的動(dòng)態(tài)干涉儀主要有兩種瞬態(tài)采樣及分析方式：基于傾斜條紋載波法和偏振移相方式32蘸炸。其中躬络，偏振移相方式利用微偏振陣列對(duì)捕獲的干涉圖像進(jìn)行空間編碼，實(shí)現(xiàn)單幀定量相位測(cè)量搭儒。動(dòng)態(tài)干涉儀的應(yīng)用非常廣泛穷当，它可以用于空間探測(cè)、大型光電系統(tǒng)中的大口徑長(zhǎng)焦光學(xué)元件與系統(tǒng)的原位面形測(cè)量淹禾。此外馁菜，它們也適用于精密光學(xué)加工領(lǐng)域，用于測(cè)量光學(xué)元件的面形和其他精密器件的參數(shù)铃岔⊥舸總的來(lái)說(shuō)，動(dòng)態(tài)干涉儀是一種強(qiáng)大的工具毁习，它通過(guò)技術(shù)克服了傳統(tǒng)干涉儀在動(dòng)態(tài)或不穩(wěn)定環(huán)境下測(cè)量的限制智嚷，提供了一種快速、精確且可靠的測(cè)量解決方案蜓洪。更多動(dòng)態(tài)干涉儀詳情請(qǐng)?jiān)L問(wèn)上海昊量光電的官方網(wǎng) ...
射時(shí)纤勒，會(huì)產(chǎn)生干涉條紋，通過(guò)分析這些干涉條紋隆檀，可以測(cè)量出表面的微小不平整度摇天。菲索干涉儀的構(gòu)造通常包括以下幾個(gè)部分：1.光源：提供穩(wěn)定的單色光或準(zhǔn)單色光。2.準(zhǔn)直系統(tǒng)：將光源發(fā)出的光變成平行光束恐仑。3.分束器：將光束分為參考光束和測(cè)試光束泉坐。4.標(biāo)準(zhǔn)平面或球面：作為參考表面，與被測(cè)表面形成干涉裳仆。5.被測(cè)光學(xué)元件：待測(cè)量的光學(xué)表面腕让。6.成像系統(tǒng)：用于觀察和記錄干涉條紋。菲索干涉儀的應(yīng)用非常廣泛歧斟，它可以用于檢測(cè)透明平行平板的光學(xué)厚度均勻性纯丸，也可以用于測(cè)量球面的面形和曲率半徑。此外静袖，菲索干涉儀還可以檢測(cè)無(wú)限觉鼻、有限共軛距鏡頭的波面像差。菲索干涉儀的測(cè)量精度通扯映龋可以達(dá)到光波長(zhǎng)的十分之一到百分之一坠陈。在光學(xué)元件加工 ...
新結(jié)合萨惑，產(chǎn)生干涉條紋。這種干涉條紋可以用來(lái)測(cè)量光波的波長(zhǎng)仇矾、物體的微小位移庸蔼、厚度以及折射率等物理量。工作原理：當(dāng)兩束光的頻率相同贮匕、振動(dòng)方向相同且相位差恒定時(shí)姐仅，它們可以發(fā)生干涉。通過(guò)調(diào)節(jié)干涉臂的長(zhǎng)度或改變介質(zhì)的折射率粗合，可以形成不同的干涉圖樣1113萍嬉。干涉條紋實(shí)際上是等光程差的軌跡乌昔，因此隙疚，分析干涉產(chǎn)生的圖樣需要求出相干光的光程差位置分布的函數(shù)。邁克爾遜干涉儀的zhu名應(yīng)用之一是邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn)磕道，該實(shí)驗(yàn)證實(shí)了以太的不存在供屉，為狹義相對(duì)論的基本假設(shè)提供了實(shí)驗(yàn)依據(jù)。此外溺蕉，邁克爾遜干涉儀還在引力波探測(cè)中得到廣泛應(yīng)用伶丐，如激光干涉引力波天文臺(tái)（LIGO）等，通過(guò)測(cè)量由引力波引起的激光的光程變化來(lái)探測(cè)引力波疯特。邁克 ...
2）哗魂。明顯的干涉條紋清晰可見(jiàn)圖4 測(cè)量結(jié)果（數(shù)據(jù)圖3）。峰值表示涂層厚度漓雅。它堅(jiān)固而明顯录别，表現(xiàn)出出色的選擇性（沒(méi)有其他厚度）二、厚度不均勻性涂層厚度不均勻性（測(cè)量點(diǎn)內(nèi)）導(dǎo)致反射光譜類似于多層薄膜疊層邻吞。如果厚度變化足夠大组题，則光相位（和干涉）將被擾亂，并且無(wú)法進(jìn)行厚度測(cè)量抱冷。圖5顯示了覆蓋具有不同厚度T1崔列、T2的兩個(gè)區(qū)域S1、S2的光斑尺寸示例旺遮。圖5 測(cè)量點(diǎn)內(nèi)不同厚度的區(qū)域當(dāng)區(qū)域S1赵讯、S2的反射率到達(dá)光電探測(cè)器時(shí)，反射率被組合并轉(zhuǎn)換為強(qiáng)度（反射率作為矢量/復(fù)數(shù)）耿眉。這個(gè)過(guò)程稱為卷積边翼。光相位不會(huì)丟失——它會(huì)轉(zhuǎn)換為信號(hào)幅度。在數(shù)據(jù)分析過(guò)程中跷敬，信號(hào)被分解（使用FFT）并提取厚度讯私。測(cè)量過(guò)程中的反射率變換如圖6所 ...
热押。反射光譜中干涉條紋的幅度約為0.1%，并且非常清晰：薄膜疊層模型與測(cè)量數(shù)據(jù)相符斤寇，并且可以準(zhǔn)確確定厚度/n&k桶癣。圖1 低光學(xué)對(duì)比度測(cè)量–基材上的涂層，折射率差異<0.1反射條紋p-p幅度~0.1%娘锁。模型根據(jù)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合牙寞，厚度/n&k被準(zhǔn)確確定。為了進(jìn)行比較莫秆，許多流行的可見(jiàn)光譜儀中使用的SonyILX和Toshiba1304探測(cè)器的DNR約為1000间雀。使用這些探測(cè)器之一進(jìn)行圖1中的測(cè)量會(huì)更加困難。另一方面镊屎，像S10420這樣的高質(zhì)量CCD探測(cè)器的DNR約為40K至50K惹挟，并且可以準(zhǔn)確測(cè)量0.01%的反射率。實(shí)際上缝驳，需要對(duì)固定模式噪聲進(jìn)行非常精確的校準(zhǔn)才能測(cè)量低信號(hào)電平的信號(hào) ...
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