硅基液晶芯片即LCOS是一種空間光調(diào)制器毡庆。它利用液晶的電控雙折射現(xiàn)象坑赡，在驅(qū)動(dòng)電壓下折射率連續(xù)變化烙如，實(shí)現(xiàn)對(duì)入射光的相位調(diào)制毅否。但由于液晶的一些特性亚铁，驅(qū)動(dòng)電壓改變量和相位改變量是非線性關(guān)系，實(shí)際使用中需要測(cè)量并確定相位調(diào)制特性曲線∶樱現(xiàn)介紹一種相位分析方法——白光干涉法徘溢，來(lái)確定LCOS芯片的相位調(diào)制特性曲線捆探。
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LCOS芯片的一種相位分析方法簡(jiǎn)介——白光干涉法
硅基液晶芯片即LCOS是一種空間光調(diào)制器然爆。它利用液晶的電控雙折射現(xiàn)象黍图，在驅(qū)動(dòng)電壓下折射率連續(xù)變化曾雕，實(shí)現(xiàn)對(duì)入射光的相位調(diào)制。但由于液晶的一些特性助被，驅(qū)動(dòng)電壓改變量和相位改變量是非線性關(guān)系翻默，實(shí)際使用中需要測(cè)量并確定相位調(diào)制特性曲線∏∑穑現(xiàn)介紹一種相位分析方法——白光干涉法，來(lái)確定LCOS芯片的相位調(diào)制特性曲線趾牧。
白光干涉法采用邁克爾孫干涉儀的結(jié)構(gòu)检盼，在參考鏡前設(shè)置補(bǔ)償玻璃板（同LCOS芯片前的玻璃板），消除對(duì)光路的影響翘单，從而使參考光和反射光達(dá)成白光干涉條件。分析干涉圖可得到LCOS芯片的相位輪廓哄芜，進(jìn)而分析相位調(diào)制的特性曲線貌亭。
上圖為白光干涉法的裝置示意圖。白光由確定中心波長(zhǎng)的鹵鎢燈發(fā)射认臊，經(jīng)毛玻璃散射圃庭。然后由線偏振片獲得與LCOS液晶指向矢平行的偏振方向。然后分束鏡將透射光分為兩路失晴，一路光反射到參考鏡經(jīng)過(guò)補(bǔ)償玻璃板剧腻，再原路返回。另一路光透射后在LCOS芯片的液晶內(nèi)經(jīng)過(guò)雙折射產(chǎn)生相位延遲涂屁，再原路返回。兩路光最后再在ccd前疊加拆又，產(chǎn)生白光短路干涉儒旬，由CCD記錄干涉圖樣栏账。LCOS裝載在壓電位移臺(tái)上，以便調(diào)整光程差栈源，進(jìn)而獲得多組干涉圖樣挡爵。根據(jù)獲得的干涉圖組，分析情況獲得三維相位輪廓凉翻。
調(diào)整在LCOS上加載電壓了讨，獲得從0到255灰度值的圖案，（a）圖為在LCOS上觀測(cè)的圖像制轰。可得到對(duì)應(yīng)的干涉圖樣垃杖，（b）圖為L(zhǎng)COS的干涉圖男杈。可看出單張干涉圖出現(xiàn)扭曲调俘，說(shuō)明液晶的相位調(diào)制不是線性的伶棒。
可在改變光程的步進(jìn)掃描中獲得一組干涉圖樣，進(jìn)而計(jì)算三維相位輪廓彩库，表征LCOS液晶受電壓變量和相位變量的關(guān)系肤无。然后可以調(diào)整電壓變量的增量關(guān)系來(lái)獲得LCOS的灰度值和相位改變量的線性關(guān)系。
采用白光干涉骇钦，可獲得對(duì)比度高的干涉條紋宛渐，與窄帶激光干涉相比眯搭，白光干涉可以定位零級(jí)條紋窥翩，消除2p相位的誤差，更精確判斷液晶的相位改變量鳞仙。同時(shí)由于精度的提高寇蚊，此種方法可以實(shí)現(xiàn)像素級(jí)相位觀測(cè)棍好。
相關(guān)文獻(xiàn)：
《基于掃描白光干涉法的LCOS芯片像素級(jí)相位分析》作者：屈銘,鄭俊杰,李敏,桂聰,宋五洲
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