菲索干涉儀

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菲索干涉儀

菲索干涉儀（Fizeau interferometer）是一種光學(xué)測量設(shè)備缺狠，通常用于測試光學(xué)表面的質(zhì)量问慎，如平面度、波面像差和材料的均勻性等挤茄。菲索干涉儀的原理基于等厚干涉如叼，當(dāng)光線在兩個(gè)平行表面之間多次反射時(shí)，會(huì)產(chǎn)生干涉條紋穷劈，通過分析這些干涉條紋笼恰，可以測量出表面的微小不平整度。

菲索干涉儀的構(gòu)造通常包括以下幾個(gè)部分：

1. 光源：提供穩(wěn)定的單色光或準(zhǔn)單色光歇终。

2. 準(zhǔn)直系統(tǒng)：將光源發(fā)出的光變成平行光束社证。

3. 分束器：將光束分為參考光束和測試光束。

4. 標(biāo)準(zhǔn)平面或球面：作為參考表面评凝，與被測表面形成干涉追葡。

5. 被測光學(xué)元件：待測量的光學(xué)表面。

6. 成像系統(tǒng)：用于觀察和記錄干涉條紋奕短。

菲索干涉儀的應(yīng)用非常廣泛宜肉，它可以用于檢測透明平行平板的光學(xué)厚度均勻性，也可以用于測量球面的面形和曲率半徑翎碑。此外谬返，菲索干涉儀還可以檢測無限、有限共軛距鏡頭的波面像差日杈。

菲索干涉儀的測量精度通城猜粒可以達(dá)到光波長的十分之一到百分之一。在光學(xué)元件加工過程中达椰，菲索干涉儀可以用來檢查和測量光學(xué)元件的光學(xué)表面質(zhì)量翰蠢，如平面度及其局部缺陷與誤差等。

菲索干涉儀的一個(gè)關(guān)鍵特點(diǎn)是它采用了振幅分割法啰劲，即入射光垂直于反射面射入梁沧，產(chǎn)生等厚干涉條紋，用以測量光學(xué)元件的誤差蝇裤。此外廷支，菲索干涉儀還具有共光路的特點(diǎn)，即參考光和傳感光是沿著同一條光路行進(jìn)的栓辜，這有助于克服外界干擾恋拍，提高測量的穩(wěn)定性。

總的來說藕甩，菲索干涉儀是一種精密的光學(xué)測量工具施敢，它在光學(xué)元件的檢測和質(zhì)量控制中發(fā)揮著重要作用。通過精確的干涉條紋分析，菲索干涉儀能夠提供關(guān)于光學(xué)表面質(zhì)量的詳細(xì)信息僵娃，幫助改進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)的性能概作。

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