解釋
中文：掃描干涉場(chǎng)曝光叔收；英文：scanning beam interference exposure的原理；中文：掃描干涉場(chǎng)曝光傲隶；英文：scanning beam interference exposure的定義饺律；中文：掃描干涉場(chǎng)曝光；英文：scanning beam interference exposure是什么跺株。
兩束小截面高斯激光相干涉形成直線(xiàn)度誤差為幾納米的干涉條紋复濒，通過(guò)精密工作臺(tái)的二維運(yùn)動(dòng)以?huà)呙璺绞綄⒏缮鏃l紋記錄于光刻膠上的一種感光過(guò)程。
