如何利用磁場相機(jī)實(shí)現(xiàn)磁性微結(jié)構(gòu)分析监氢？工業(yè)設(shè)備的持續(xù)微型化過程引發(fā)了對高ji磁性微結(jié)構(gòu)表征技術(shù)的需求，這些技術(shù)需結(jié)合高分辨率藤违、短測量時(shí)間和定量磁場數(shù)據(jù)浪腐。尤其是在磁性設(shè)備制造過程中進(jìn)行在線質(zhì)量控制時(shí)，這一點(diǎn)尤為重要顿乒，例如工業(yè)定位應(yīng)用中的磁性標(biāo)尺议街。這些標(biāo)尺的表征非常具有挑戰(zhàn)性，因?yàn)槟壳暗拇艠O尺寸已經(jīng)達(dá)到了微米級別璧榄。這種小型結(jié)構(gòu)的磁場會在局部納米級范圍內(nèi)變化傍睹，且整個(gè)樣品中會出現(xiàn)所有三種磁場矢量分量。因此犹菱，需要一種具有高空間分辨率的分析技術(shù)。此外吮炕，空間快速變化的磁場會隨著與樣品距離的增加迅速衰減腊脱。對于具有有限厚度的傳感器，這甚至可能導(dǎo)致垂直于傳感器方向的額外磁場變化龙亲，從而導(dǎo)致磁結(jié)構(gòu)尺寸依賴的場平均效應(yīng)陕凹。 ...
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