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而反射式和折反射式光學(xué)系統(tǒng)占有較大的比例帘瞭。同時(shí)淑掌，光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)應(yīng)盡量簡單，以減少能量的損失蝶念。其次抛腕，紅外光學(xué)系統(tǒng)的接收器不是人眼或膠片，而是光電探測器媒殉。因此担敌，光學(xué)系統(tǒng)的性能以它和探測器匹配的靈敏度、信噪比為主要評(píng)價(jià)依據(jù)廷蓉，而不是單純考慮光學(xué)系統(tǒng)的分辦率全封。第三，由于紅外輻射波長較長,相應(yīng)的衍射極限較低。早期的紅外探測器分辨率低刹悴，對光學(xué)系統(tǒng)的像質(zhì)要求也相應(yīng)較低给猾。但隨著紅外探測器分辨率的提高，對光學(xué)系統(tǒng)的要求也越來越高颂跨，而要得到較高的分辨率必須要有大的相對孔徑。對于光機(jī)掃描結(jié)構(gòu)扯饶，光學(xué)系統(tǒng)的視場較小恒削，屬于大孔徑小視場系統(tǒng)，但要考慮對像面彎曲或畸變的特殊要求尾序。對于凝視成像系統(tǒng)钓丰，由于探測器像元數(shù)比掃描型要多得 ...
面反射鏡的全反射式光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)寬光譜（200-1000 nm）測量，離軸拋物面鏡用于產(chǎn)生或聚焦準(zhǔn)直 光束每币，平面反射鏡用于改變光束方向并補(bǔ)償由離軸拋物面鏡反射引起的偏振態(tài)變化携丁，解決了色差問題。2016 年兰怠，合肥工業(yè)大學(xué)和中國科學(xué)院微電子所在深紫外寬帶光譜儀的基礎(chǔ)上增加快速旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器式的橢偏結(jié)構(gòu)梦鉴，該結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了寬光譜成像，將光譜范圍拓寬到深紫外波段揭保，橫向分辨率約為8. 77μm×4. 92μm肥橙，并減小了系統(tǒng)誤差。其測量結(jié)構(gòu)如下圖所示秸侣。全反射式橢偏成像系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖在拓寬光譜范圍的同時(shí)存筏，提高測量速度和準(zhǔn)確性也成為成像橢偏儀的重要研究方向。2010年味榛，清華大學(xué)吳學(xué)健等發(fā)明了一種基于磁光效應(yīng)的成像橢偏儀椭坚， ...
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