中文:后烘蹭越;英文:post exposure bake

關(guān)鍵詞
解釋
中文:后烘;英文:post exposure bake的原理教届;中文:后烘响鹃;英文:post exposure bake的定義;中文:后烘案训;英文:post exposure bake是什么买置。
對(duì)顯影后的光刻膠光柵在特定溫度條件下進(jìn)行烘焙的過程。后烘可去除光柵基底上殘余的顯影溶劑强霎,改善掩模與光柵基底的黏附能力忿项,同時(shí)使掩模硬化。
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