中文：物理-化學刻蝕自阱；英文：physical-chemical etching

解釋
中文：物理-化學刻蝕嚎莉；英文：physical-chemical etching的原理；中文：物理-化學刻蝕沛豌；英文：physical-chemical etching的定義趋箩；中文：物理-化學刻蝕；英文：physical-chemical etching是什么加派。
 物理刻蝕及化學刻蝕結(jié)合的工藝過程叫确。化學反應(yīng)削弱化學鍵以增強離子濺射的效果哼丈，離子轟擊又給化學反應(yīng)提供了能量启妹，具有較好的選擇性。
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