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溝槽深蝕刻脊波導激光器，采用380nm SiNx作為側(cè)壁絕緣拷邢，并向下安裝在復合金剛石底座上袱院。為了進行測試，所有的臺面和激光設備都安裝在AlN上的直接結(jié)合銅襯底上瞭稼。電致發(fā)光(EL)光譜在不同溫度和脈沖電流(80kHz重復頻率;脈沖寬度100-500ns)忽洛，使用傅里葉變換紅外(FTIR)光譜儀進行步進掃描模式和ln2冷卻MCT探測器，波長截止為12.5μm环肘。在快速掃描模式下欲虚，使用相同的FTIR設置獲得激光光譜。脈沖(200 ns;使用室溫MCT檢測器在80-300K的溫度范圍內(nèi)測量了光電流-電壓(LIV)特性悔雹。圖2該設計在80K和297K下顯示了超寬增益光譜(圖2(a)和(b))复哆，跨度超過一個倍頻 ...
備了雙通道脊波導激光器欣喧。沉積0.3 m厚的硅氮層用于側(cè)壁保溫。在頂部接觸處蒸發(fā)Ti-Au （30/300 nm）后寂恬，在激光脊周圍鍍上一層m厚的金層续誉，以實現(xiàn)有效的傳熱莱没。為了便于切割初肉，在厚的電鍍金層中留下了小的間隙。晶圓減薄至150 m后饰躲，背面的Ge-Au （15/300 nm）接觸蒸發(fā)牙咏。激光被安裝在一個銅底座上，用In焊料和電線粘合嘹裂。zui后妄壶，背面是高反射（HR）涂層的SiO -Ti-Au-SiO （400/15/100/100 nm）。了解更多詳情寄狼，請訪問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁：http://www.wjjzl.com/three-level-106.html更多詳情請聯(lián)系昊量光電 ...
5 mm的脊波導激光器丁寄。采用等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）沉積0.3 mm的SiOx絕緣層，通過電子束蒸發(fā)沉積30 nm/300 nm的薄鈦金頂部金屬觸點泊愧，然后將襯底減薄至200 mm伊磺，并沉積20 nm/200 nm的鍺金底部金屬觸點。直徑為190 mm的圓形平臺樣品（用于電致發(fā)光和電子傳輸測量）由相同的晶圓使用類似的技術(shù)制造删咱，除了不需要SiOx絕緣層屑埋。激光器的腔長從0.5到4.0 mm不等，并在銅散熱片的外延側(cè)安裝痰滋。此外摘能，還制作了具有埋置異質(zhì)結(jié)構(gòu)波導和固定腔長1.9 mm的激光器，在其背面涂覆高反射率涂層敲街，并將外延面向上安裝团搞。圖3圖2a顯示了臺面樣品在80k和300k下的電致發(fā)光光 ...
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