中文：甩膠嘁圈；英文：spin coating

關(guān)鍵詞
解釋
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 在基片上涂覆液態(tài)光致抗蝕劑并旋轉(zhuǎn)基片轧粟，使光致抗蝕劑在基片上形成均勻膜層的工藝。
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