解釋
中文：光致抗蝕劑涝开；英文：photo resist的原理；中文：光致抗蝕劑框仔；英文：photo resist的定義舀武；中文：光致抗蝕劑；英文：photo resist是什么离斩。
簡稱“抗蝕劑”银舱。又稱“光刻膠”。光照后能改變抗蝕能力的高分子化合物跛梗。分為正性光致抗蝕劑和負(fù)性光致抗蝕劑寻馏。正性光致抗蝕劑受光照部分發(fā)生降解反應(yīng)而能為顯影液所溶解。負(fù)性光致抗蝕劑受光照部分產(chǎn)生交鏈反應(yīng)而成為不溶物茄袖，非曝光部分能被顯影液溶解操软。
