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高精度中空回射器/角反射器(各種精度、各種形狀章母、中空回射器陣列)
小型傅里葉紅外光譜儀(2-16um紅外光譜儀)
描參考鏡獲得傅里葉光譜實現(xiàn)光譜測量彩郊,光源的光譜分布是中心波長為610nm和半峰全寬為170 nm。該技術(shù)較大地拓寬了光譜帶寬蚪缀,增強(qiáng)了光強(qiáng)秫逝,測量結(jié)果更加準(zhǔn)確。橢偏儀大多采用透鏡將寬帶光束聚集在樣品表面询枚,然而透射式光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計無法滿足寬光譜的測量要求违帆,在深紫外情況下會產(chǎn)生明顯的色差問題。直到 2013 年金蜀,電子科技大學(xué)物理電子學(xué)院和中科院微電子所改變聚焦成像系統(tǒng)刷后,研制了基于全反射聚焦光學(xué)系統(tǒng)的深紫外(DUV)寬帶光譜橢偏儀。該橢偏儀采用基于離軸拋物面鏡和平面反射鏡的全反射式光學(xué)系統(tǒng)實現(xiàn)寬光譜(200-1000 nm)測量渊抄,離軸拋物面鏡用于產(chǎn)生或聚焦準(zhǔn)直 光束尝胆,平面反射鏡用于改變光束方向并補償由離軸 ...
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