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蓋板玻璃相满，前透明電極层亿，液晶層，反射鏡像素立美，集成電路背板（CMOS工藝）等結(jié)構(gòu)組成匿又。SLM有著廣泛的應(yīng)用，可以用于光束轉(zhuǎn)向建蹄、分束碌更、調(diào)焦，光鑷洞慎，脈沖整形针贬，衍射光學(xué)等領(lǐng)域。SLM的剖面圖和相位調(diào)制原理圖如圖一所示：圖1 SLM截面圖及相位調(diào)制原理蓋板玻璃起到保護和封裝液晶的作用拢蛋，針對實際使用中光源的不同波長范圍桦他，蓋板玻璃表面鍍有相應(yīng)波長范圍的寬譜AR膜，可以大大減少反射光，提高系統(tǒng)效率快压。前透明電極層位于液晶層的頂部圆仔，加載有恒定電壓。液晶層是SLM中的工作物質(zhì)蔫劣，液晶分子的排列狀況可以在電場作用下發(fā)生變化坪郭，從而改變經(jīng)過該像素的光的相位延遲。像素位于液晶層底部脉幢，其上鍍有鋁或介質(zhì)膜的反射層歪沃，具有很高的反射 ...
：保護玻璃，透明電極嫌松，液晶層沪曙，像素電極層（Wafer）構(gòu)成。1） 保護玻璃的透過率窗口片保護玻璃的透過率在相應(yīng)的工作波段（400-800nm,500-1200nm,850-1650nm）內(nèi)通常在98.5-99.5%范圍內(nèi)萎羔，因此有少量的光被直接反射回去液走。2）透明電極的透過率透明電極的透過率一般都在99%以上，該部分造成的零級光基本可以忽略贾陷。3）空間光調(diào)制器填充率像素電極層（Wafer）由一個個的獨立像元構(gòu)成缘眶，從而SLM可以實現(xiàn)針對單個像元的獨立調(diào)制。相鄰像元之間會有微小的縫隙髓废，縫隙部分無法加載電壓巷懈，因此對應(yīng)的液晶層無法加載相位，這部分未被調(diào)制的光會反射回去慌洪，產(chǎn)生零級光砸喻。4）入射光照射到非工作區(qū)域 ...
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