以形成不同的干涉圖樣1113撮执。干涉條紋實(shí)際上是等光程差的軌跡,因此舷丹,分析干涉產(chǎn)生的圖樣需要求出相干光的光程差位置分布的函數(shù)抒钱。邁克爾遜干涉儀的zhu名應(yīng)用之一是邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),該實(shí)驗(yàn)證實(shí)了以太的不存在颜凯,為狹義相對(duì)論的基本假設(shè)提供了實(shí)驗(yàn)依據(jù)谋币。此外,邁克爾遜干涉儀還在引力波探測(cè)中得到廣泛應(yīng)用症概,如激光干涉引力波天文臺(tái)(LIGO)等蕾额,通過測(cè)量由引力波引起的激光的光程變化來探測(cè)引力波。邁克爾遜干涉儀還被應(yīng)用于尋找太陽(yáng)系外行星的探測(cè)中彼城,以及在延遲干涉儀诅蝶,即光學(xué)差分相移鍵控解調(diào)器(Optical DPSK)的制造中有所應(yīng)用退个。它也是測(cè)量長(zhǎng)度變化、微小波長(zhǎng)差的有力工具调炬,并在大學(xué)物理教學(xué)中用于可視化教學(xué)语盈,幫助學(xué) ...
100nm,干涉圖樣顯著退化缰泡。在這些條件下測(cè)量厚度變得具有挑戰(zhàn)性刀荒。圖1 不同表面粗糙度的5um聚合物薄膜的反射光譜(700nm-1700nm)(模擬)。對(duì)于光散射棘钞,有一個(gè)特征缠借,即在較短波長(zhǎng)下加速退化(強(qiáng)度和干涉)表面粗糙度會(huì)導(dǎo)致光散射增加。這導(dǎo)致鏡面反射率降低和干擾減弱武翎。編織長(zhǎng)度越短烈炭,光散射越明顯。因此宝恶,長(zhǎng)可見光和近紅外(NIR)波長(zhǎng)范圍(700-1700nm)更適合表面粗糙度的應(yīng)用符隙。表面粗糙度對(duì)反射光譜影響的模擬(圖1)表明,對(duì)于RMS>100nm垫毙,干涉圖樣顯著退化霹疫。在這些條件下測(cè)量厚度變得具有挑戰(zhàn)性。圖2 粗糙度為0.5umRMS的金屬表面(掩模版直徑為20um)综芥。在20微米的尺度上 ...
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