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激光干涉儀和光學(xué)陀螺儀花椭。氣動(氣體或空氣加壓)隔振臺曾經(jīng)是學(xué)術(shù)界和工業(yè)界最關(guān)鍵的微型機(jī)械設(shè)備的支柱忽匈,但如今在隔離破壞性低頻振動方面卻表現(xiàn)不理想。在建筑物中將敏感的儀器放置在承受極高振動水平的位置上的趨勢正在增長矿辽,這是氣動隔振臺的重要障礙丹允,意味著需要新的隔振解決方案來替代郭厌。振動源納米級儀器對由多種因素引起的極小的有效載荷振動都表現(xiàn)敏感。每個(gè)結(jié)構(gòu)(建筑)都會從內(nèi)部和外部源傳遞振動雕蔽。在建筑物中折柠、供暖和通風(fēng)系統(tǒng)、風(fēng)扇批狐、泵和電梯產(chǎn)生的振動只是一部分扇售,在建筑物外部,附近的道路交通嚣艇、建筑物承冰、飛機(jī)、甚至還有其它產(chǎn)生振動的機(jī)械裝置髓废。儀器受振動的影響程度取決于儀器在建筑物中的位置以及與振動源的距離巷懈。負(fù)剛度隔離器原 ...
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