馬赫-曾德爾干涉儀型腔的量子級(jí)聯(lián)激光器寬單模調(diào)諧量子級(jí)聯(lián)（QC）激光器是一種強(qiáng)大而緊湊的半導(dǎo)體光源泪勒。在中紅外波段昼蛀，它們是目前分子傳感中基于吸收的光譜系統(tǒng)中非常有利的光源宴猾。由于這些系統(tǒng)利用了不同氣體分子的強(qiáng)而窄的吸收線，它們要求QC激光器在單模下工作叼旋，并且是連續(xù)的仇哆，廣泛可調(diào)的。研究并實(shí)現(xiàn)了實(shí)現(xiàn)波長選擇性和可調(diào)性的不同方法夫植。直到zui近讹剔，大多數(shù)QC激光器的單模操作已經(jīng)通過在常規(guī)Fabry-Perot QC激光器的頂部合并周期性光柵實(shí)現(xiàn)，例如分布式反饋光柵或分布式布拉格反射器详民。然而延欠，需要在波長尺度上精確的周期結(jié)構(gòu)需要更復(fù)雜的制造步驟（例如，電子束光刻）沈跨，通常導(dǎo)致更高的成本和更低的產(chǎn)量衫冻。機(jī)械可移動(dòng)光柵 ...
干涉儀多平面測量干涉儀是一個(gè)高精度測量方法，但是測量樣品多個(gè)表面谒出，每個(gè)表面都可能返回光束隅俘，影響測量。如果需要測量樣品的多個(gè)面笤喳，每次測量一個(gè)面的時(shí)候为居，需要在其他面涂抹消光材料抑制反光。這里講述描述一種杀狡，使用可調(diào)諧激光器一次性測量樣品多個(gè)面的方法蒙畴。假設(shè)干涉儀返回的光束，包含三個(gè)面呜象，一個(gè)是參考光膳凝，第二個(gè)是樣品前表面的測試光，第三個(gè)是樣品后邊面的返回光束恭陡。所以如果相機(jī)前的整個(gè)光束可以描述為沒有背景光的情況下通常不考慮背光反射的情況下蹬音，干涉圖光強(qiáng)分布求解他的相位部分，可以將整個(gè)光束乘以一個(gè)復(fù)平面后休玩，做一個(gè)低通后求復(fù)角度著淆。做一個(gè)低通后求復(fù)角度。低頻部分為拴疤，所以只要求他復(fù)角就可以得到相位部分沒有背景光永部，但是 ...
樣才能方便與干涉儀進(jìn)行高精度對準(zhǔn)。由于光頻梳偏頻測量模塊（COSMO）使用了納米光子波導(dǎo)蜒犯，它可以使用比傳統(tǒng)方法低得多的脈沖能量來檢測載波包絡(luò)偏移頻率组橄，它允許以小于200 pJ (即frep頻率=1 GHz時(shí)荞膘，平均功率< 200 mW，其中frep是指重復(fù)頻率)的脈沖能量精確檢測fceo晨炕，這使得光頻梳偏頻測量模塊（COSMO）可以與各種頻率的光梳一起使用衫画，包括那些功率很低的光頻梳或重復(fù)頻率很高的光頻梳毫炉。圖2如圖2所示的簡單配置中瓮栗，將鎖模光纖激光器與光頻梳偏頻測量模塊（COSMO）連接，再將該模塊連接到示波器上瞄勾，我們就可以在示波器上看到三個(gè)峰费奸，分別是fceo、fceo-frep进陡、frep.下 ...
193nm紫外波前傳感器（512x512高相位分辨率）助力半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展！摘要：昊量光電聯(lián)合法國Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析儀!該波前傳感器采用Phasics公司技術(shù)-四波橫向剪切干涉技術(shù)趾疚，可以工作在190-400nm波段缨历，消色差，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度糙麦，能夠精確測量紫外光波前的細(xì)微變化辛孵。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學(xué)元件表征（DUV光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域）和表面檢測（透鏡和晶圓等）赡磅。193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)中具有重要作用魄缚。該傳感器具有高分辨率，消色差焚廊，對震 ...
ehnder干涉儀冶匹，該值適合于高比特率。在室溫下咆瘟，以10.3125Gb/s的直接調(diào)制速率嚼隘，使用非歸零（NRZ）數(shù)據(jù)（偽隨機(jī)二進(jìn)制序列（PRBS）模式長度）評(píng)估頻率偏差。圖3(a)顯示了整個(gè)序列中20位的時(shí)間分辨啁啾和強(qiáng)度波形袒餐。圖3(b)給出了序列的細(xì)節(jié)嗓蘑，啁啾的兩個(gè)組成部分（絕熱和瞬態(tài)）都很明顯。在高比特率下匿乃，瞬態(tài)分量比絕熱分量更重要桩皿。在一長串邏輯“0”之后，可以清楚地觀察到上升沿上的高超調(diào)幢炸，而這種超調(diào)在下降沿上不太明顯泄隔。通過觀察邏輯狀態(tài)“0”和邏輯狀態(tài)“1”之間的頻率差，可以看到絕熱分量宛徊，大約為5GHz佛嬉。1.33-um VCSEL峰對峰啁啾值約為18-20GHz逻澳。在1.5-um直接調(diào)制VCSE ...
馬赫-曾德爾干涉儀（MZI）設(shè)備經(jīng)過測試，測量的光學(xué)插入損耗分別為17dB和14dB暖呕。射頻信號(hào)發(fā)生器（Agilent 8257D）用于生成1-20GHz之間的頻率斜做，Max輸出功率為14dBm（25mw）。偏置-T（Anritsu K250）用于將直流偏置應(yīng)用于射頻信號(hào)湾揽。射頻信號(hào)被送入一個(gè)射頻放大器（Mini Circuits ZVA-213-S+）瓤逼，增益為26dB（P1dB = 24dBm）。在頻率依賴性測量期間應(yīng)用增益平坦化库物，以保持在1-20GHz范圍內(nèi)恒定的20dBm（100mw）輸出功率霸旗。射頻信號(hào)通過一個(gè)微探針（Form-Factor/Cascade ACP40-LGSG-150）耦合到 ...
四波橫向剪切干涉儀，稱為SID4波前傳感器戚揭，QWLSI技術(shù)是為了克服Shack-Hartmann (SH)技術(shù)的分辨率不足而開發(fā)的诱告。它采用了智能衍射光柵設(shè)計(jì)，具有高靈敏度民晒、高分辨率精居、高重復(fù)性的特點(diǎn)。圖1 SID4波前傳感器部分測試結(jié)果圖★什么是波前傳感器?波前傳感器是一種設(shè)計(jì)用來測量光波前的裝置潜必。術(shù)語“波前傳感器”;適用于不需要任何參考光束干擾的波前測量儀器靴姿。波前傳感器的應(yīng)用范圍很廣，如光學(xué)測試和對準(zhǔn)(表面測量)刮便、傳輸波前誤差測量空猜、調(diào)制『藓担★QWLSI四波橫向剪切干涉測量原理四波橫向剪切干涉測量(QWLSI原理) 具有納米級(jí)靈敏度和高分辨率的相位和強(qiáng)度辈毯。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)依靠衍射光柵將入射光束復(fù)制成4 ...
四波橫向剪切干涉儀（QWLSI）技術(shù)，徹底革新傳統(tǒng)測量方式搜贤。通過單程光路配置即可實(shí)現(xiàn)鏡頭的快速實(shí)時(shí)表征谆沃。該平臺(tái)的測量方式非常簡單并且滿足:高效測量：無需在不同視場點(diǎn)之間進(jìn)行多次對準(zhǔn)或復(fù)雜配置，快速完成光程差（OPD）和調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）的全視場測量仪芒。精準(zhǔn)校正：借助光線追蹤算法唁影，回溯波前至出瞳面，精準(zhǔn)計(jì)算漸暈效應(yīng)和孔徑傳輸掂名。廣譜兼容：適用于多波長環(huán)境据沈，自動(dòng)切換波長且無需額外校準(zhǔn)，覆蓋從可見光到近紅外的應(yīng)用需求饺蔑。通過Kaleo MTF的自動(dòng)化操作锌介，平臺(tái)在2.5秒內(nèi)即可完成一個(gè)視場點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集，大幅提升產(chǎn)線檢測的效率和一致性。同時(shí)孔祸，系統(tǒng)的測量誤差在整個(gè)視場內(nèi)保持在1%以下隆敢，為汽車鏡頭性能評(píng)價(jià)提供 ...
像使用低相干干涉儀系統(tǒng)來比較通過樣品的反射光和已知長度的參考光束之間的延遲。根據(jù)時(shí)間上的延遲崔慧，對組織的深度進(jìn)行量化拂蝎。這個(gè)原理被稱為時(shí)間相干。換句話說惶室，來自光源的近紅外光到達(dá)干涉儀温自，該干涉儀將光路分成兩條臂。其中一束(參考光束)將直接指向探測器;而另一束(探測束)將到達(dá)眼睛拇涤，向視網(wǎng)膜行進(jìn)并被反射回來捣作，離開眼睛[1]誉结。兩個(gè)反射光束在干涉儀的輸出端結(jié)合在一起鹅士。OCT需要低時(shí)間相干光源，以便在稱為相干長度的時(shí)間旅行間隔內(nèi)匹配參考光束和探測光束的相位惩坑。時(shí)域OCT干涉儀示意圖如圖1所示:圖1所示掉盅。OCT干涉法。光從低時(shí)間相干光源發(fā)射以舒。它在參考光束中分裂趾痘，直接指向參考鏡并被反射回來。另一束光穿過眼睛蔓钟，被視網(wǎng) ...
用。多模光纖干涉儀的設(shè)置該裝置顯示了光纖傳感器系統(tǒng)滥沫。它由寬帶光源(Iceblink)侣集、分辨率為0.3 nm的光柵光譜儀(Ibsen I-MON 512)和2 × 2耦合器(Thorlabs, TW1550R5A2)組成。組件通過2x2耦合器連接(Thorlabs TW1550R5A2)兰绣。光纖光柵傳感器(Optromix)嵌在SM1500光纖中世分，反射率為全寬半MAX值(FWHM)為0.2 nm。多模干涉儀(MMI)是通過拼接14.2 mm的薄芯(TC)光纖(SM400)或無芯制成的(CL)光纖(FG125LA, Thorlabs)到單模光纖(SMF)的末端缀辩。Iceblink是一款覆蓋450- 2 ...
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