波像差系列（五）-參考點(diǎn)移動(dòng)產(chǎn)生的波像差寻馏、焦深參考點(diǎn)的位置變化時(shí),對(duì)于幾何像差而言，只是相當(dāng)于坐標(biāo)原點(diǎn)的變化核偿，不會(huì)引入新的像差進(jìn)入到系統(tǒng)中诚欠。但是對(duì)于波像差而言則不同，擋參考點(diǎn)的位置變化時(shí)漾岳，相當(dāng)于參考球面的半徑發(fā)生變化轰绵，使得新的參考球面與原來(lái)的參考球面有所偏離，這就是參考點(diǎn)移動(dòng)所產(chǎn)生的波像差尼荆。若參考點(diǎn)沿波面對(duì)稱軸移動(dòng)藏澳，其所引起的波像差變化量 可應(yīng)用公式以 代替其中的球差來(lái)求得，即當(dāng)參考點(diǎn)在垂軸方向移動(dòng)時(shí),其所產(chǎn)生的波像差的變化量可對(duì)如下公式進(jìn)行積分而得耀找。此時(shí)式中的常量,翔悠，并考慮到，得焦深野芒，是焦點(diǎn)深度的簡(jiǎn)稱蓄愁。光學(xué)成像系統(tǒng)的焦深指的是當(dāng)系統(tǒng)像面移動(dòng)造成的系統(tǒng)波像差變化不超過(guò)四分之一波長(zhǎng)時(shí)，則認(rèn)為這個(gè) ...
波像差系列（七）-球色差撮抓、幾何色差與波像差的關(guān)系當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)使二色波面在邊緣帶相交即對(duì)邊緣孔徑校正波色差時(shí),由于二色波面對(duì)參考球面的偏離程度不同，在中間各帶仍會(huì)有剩余的波色差存在摇锋。這是由于各色光線的球差各不相同而引起的丹拯，故稱之為球色差。按照我們幾何像差的觀點(diǎn)荸恕，球差隨色光的變化乖酬，使得二種色光在某一帶上校正了色差后，其他帶上定有剩余色差融求。剩余色差的大小,標(biāo)志著球色差的大小咬像。光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)對(duì) 0.707 帶校正幾何色差，這與對(duì)邊緣帶校正波色差是一致的。這是因?yàn)榻^大部分系統(tǒng)县昂，幾何色差可認(rèn)為是與孔徑的平方成比例上式為位置色差的表述形式肮柜。如果以孔徑的平方為織坐標(biāo)軸作色差曲線,則所得為一直線，如下圖所示倒彰。它對(duì)縱軸 ...
波像差系列（八）-光學(xué)系統(tǒng)的像差容限光學(xué)系統(tǒng)不可能把像差校正得盡善盡美审洞。那么多大的像差能被認(rèn)為是允許的？這是一個(gè)很重要的問(wèn)題待讳，也是一個(gè)甚為復(fù)雜预明、并且還不能認(rèn)為已被解決了的問(wèn)題。原因是光學(xué)系統(tǒng)的像差容限不僅與像質(zhì)評(píng)價(jià)方法有關(guān)耙箍，還隨系統(tǒng)的使用條件撰糠、使用要求和接收器性能等的不同而不同，而諸多像質(zhì)評(píng)價(jià)方法之間雖然有直接或間接的聯(lián)系辩昆，但它們各自有其局限性阅酪，不能用任一種方法來(lái)評(píng)價(jià)各種光學(xué)系統(tǒng)。而且有些方法數(shù)學(xué)推演繁復(fù)汁针，計(jì)算困難术辐，實(shí)際上也很難從像質(zhì)判據(jù)直接得出像差容限。由于波像差與幾何像差之間有著較為方便和直接的聯(lián)系施无，因此辉词，以最大波像差為評(píng)價(jià)依據(jù)的瑞利判斷是一種方便而實(shí)用的像質(zhì)評(píng)價(jià)方法。利用它可由波像差的允 ...
衍射極限猾骡，即波像差＜(1/4-1/10) 瑞躺。若以輸入面為孔闌，則校正物面像差等價(jià)于校正頻譜面像差兴想，校正光闌像差等價(jià)于校正輸入面像差幢哨。由像差理論可知，物面畸變與光闌彗差間應(yīng)滿足下列關(guān)系：據(jù)此嫂便，傅里葉變換透鏡為滿足式1捞镰，當(dāng)主光線滿足正弦條件的時(shí)候，必存在物面畸變毙替。當(dāng)滿足無(wú)畸變的共線成像關(guān)系時(shí)岸售，常規(guī)光學(xué)系統(tǒng)主面是平面，譜面上無(wú)畸變的理想像高厂画，而傅里葉變換透鏡要求像高凸丸，相當(dāng)于主面是一個(gè)以焦點(diǎn)為中心的球面。傅里葉變換透鏡的畸變?yōu)橐虼四靖猿Ｒ?guī)光學(xué)系統(tǒng)作為傅氏變換透鏡時(shí)甲雅，Z大譜面范圍由譜點(diǎn)位置的非線性誤差所限制。傅氏變換透鏡一般能對(duì)物面校正球差坑填、彗差抛人、像散、場(chǎng)曲脐瑰，整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)像質(zhì)達(dá)到衍射極限妖枚，且對(duì)光闌位置校正 ...
技術(shù)提供關(guān)鍵波像差數(shù)據(jù)苍在，有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量绝页，推動(dòng)行業(yè)的發(fā)展。在光刻機(jī)行業(yè)中寂恬，高精度的波前傳感器是關(guān)鍵組件之一续誉。它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和校正光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中的誤差，從而提高光刻質(zhì)量和成品率初肉。這款新的紫外波前傳感器的推出酷鸦，將進(jìn)一步提升光刻機(jī)的性能，加速半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展牙咏。波前傳感器原理介紹：193nm波前分析儀采用四波橫向剪切干涉技術(shù)臼隔，該技術(shù)是一種用于測(cè)量激光波前、光刻物鏡波像差妄壶，光學(xué)元器件面型表征的技術(shù)摔握，其原理是測(cè)試光波經(jīng)過(guò)兩個(gè)正交（0、π）的相位光柵丁寄，獲得四個(gè)干涉光束氨淌，四束光兩兩干涉，通過(guò)測(cè)量這四個(gè)干涉光束的干涉后的光強(qiáng)分布來(lái)計(jì)算光波的相位分布伊磺。該技術(shù)采用0和π的二維光柵作為分光器件宁舰，利用該二 ...
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