中文：數字微鏡器件；英文：digital micromirror device / DMD

evice”數字微鏡器件,是一種基于MEMS技術的微反射鏡陣列單元欣范，單元數量可達百萬量級变泄，是一種電子輸入、光學輸出的微機電系統 (MEMS)恼琼，開發(fā)人員可借助該系統執(zhí)行高速妨蛹、高效及可靠的空間光調制。圖1：DMD單個工作單元圖示1晴竞、何為無掩模光刻蛙卤？無掩膜光刻即不采用光刻掩模板的光刻技術。在傳統光刻過程中噩死，需要采用光學照射掩模版的方式將圖案轉移到掩模版上表窘；而在無掩模光刻中，對目標圖案的轉印不需要掩模版甜滨，而是通過電子束或光學的方式直接在基片上制作出所需要的圖案，這種方式避免了傳統方式制作掩模版效率低瘤袖、分辨率低衣摩、成本高的缺點。2捂敌、何為DMD無掩模光刻艾扮？DMD無掩模光刻是光學無掩模光刻技術的一種，該技術使 ...

包括毛玻璃占婉、數字微鏡器件泡嘴、LED陣列，最快刷新頻率可以達到100MHz量級逆济。近年來出現的波導相位調制集成光路等技術使得光源調制方式實現了固態(tài)化（見圖2）酌予。本課題組也自主研制了大功率、刷新頻率可達幾十kHz的高性能可編程贗熱光源奖慌，對一定距離的室外運動目標實現了準實時成像抛虫。在成像算法方面，壓縮感知和機器學習大幅減少了成像所需采樣次數简僧，提升了關聯成像速度建椰。同時，為了實現運動物體的實時成像岛马，減少算法的耗時也是值得關注的問題棉姐。圖2硅基芯片耦合多模光纖的二維贗熱光源及成像裝置示意圖其次屠列，根據實際場景優(yōu)化成像策略，也可以提升關聯成像速度伞矩。通過設計照明方式笛洛，關聯成像獲取物體信息的方式比傳統成像更加靈活。現有方 ...

DMD在雙光子激發(fā)顯微鏡中應用時間聚焦是一種高度并行的激光激發(fā)技術扭吁，廣泛應用于細胞動態(tài)成像撞蜂、光遺傳學和微制造等領域。雖然時間聚焦多光子激發(fā)顯微鏡能在寬視場成像侥袜，但在軸向分辨率方面?zhèn)鹘y點掃描多光子顯微技術更占優(yōu)勢蝌诡。一種改進方式是采用線掃描的工作方式，將光線聚焦到線中來對激發(fā)平面進行圖形化枫吧，提高軸向分辨率浦旱。而使用DMD可以有效實現對光的快速空間調制，在激發(fā)面形成動態(tài)圖樣九杂。同時由于DMD的圖樣可編程性颁湖，可以控制線寬，也可以同時照明多條線例隆，并快速掃過樣品甥捺。這有利于實際實驗中平衡照明區(qū)域和軸向分辨率的不同需求。上圖為實驗裝置示意圖镀层。激光束經過反射光柵衍射镰禾，通過兩個凸透鏡將經過衍射的光束投射在DMD的微鏡 ...

從歷史上看，數字微鏡器件（DMD）技術的主要應用一直是在顯示系統中唱逢，在過去數年中吴侦，DLP嵌入式用戶正在探索許多新的應用。其中許多應用都考慮將激光器與 DMD結合使用坞古。激光使用連續(xù)和脈沖模式操作备韧。脈沖操作的眾多優(yōu)點之一是，在脈沖期間可以達到非常高的峰值功率痪枫，并且平均功耗相對較低织堂。這種工作模式可實現各種燒蝕模式（熱和非熱），適用于沉積听怕、醫(yī)療和其他應用捧挺。過去依據穩(wěn)態(tài)熱模型來預測DMD陣列和像素的溫度，并以模型為基礎形成Vialux的DMD數據手冊上最大照明功率密度規(guī)格尿瞭。然而在考慮脈沖激光照明條件時闽烙，DMD的像素瞬態(tài)溫度不能被忽視。大溫差和高溫會降低DMD的半導體器件使用壽命。即使極短時間高溫黑竞，在多周 ...

《DMD的激光功率處理》白皮書介紹（二）《《DMD的激光功率處理》白皮書介紹（一）》中提到DMD在不斷拓展應用場景時面臨許多挑戰(zhàn)捕发。而在脈沖激光系統中應用時，激光功率和其造成的數字微鏡升溫問題尤為重要很魂。我們需要知道其中制約關系扎酷，防止在實際使用中損壞DMD器件。前文介紹了單個DMD微鏡在不同脈沖激光條件下升溫降溫過程遏匆，并建立描述這一過程的物理模型法挨。接下來的內容是將單個微鏡的升溫過程置于微鏡陣列和基底環(huán)境中，以求得在DMD使用場景下應當遵循的一般使用條件幅聘。前文模型僅預測單像素溫度上升模式凡纳，為確定總像素溫度，必須知道陣列溫度帝蒿。陣列溫度取決于特定的封裝荐糜。在確定的輸入光能量時，陣列溫度一般與封裝背面的陶瓷 ...

激光器可采用數字微鏡器件(DMD)作為濾波器葛超。與Mach-Zehnder干涉儀暴氏、Sagnac濾波器和光纖布拉格光柵相比，DMD具有高速調諧和不同波長之間靈活切換的優(yōu)勢绣张。您可以通過我們的官方網站了解更多的產品信息答渔，或直接來電咨詢4006-888-532。 ...

本文介紹一種數字微鏡器件(DMD)全息顯示技術侥涵。系統利用激光二極管(LD)陣列研儒，應用結構照明(SI)來擴展DMD的小衍射角。為了消除SI的衍射噪聲独令，在傅里葉濾波器中采用有源濾波器陣列，并將其與LD陣列同步好芭。利用DMD的快速運行特性燃箭，通過時域復用降低散斑噪聲。此系統可在大視角下觀察到無斑點噪聲的全息圖舍败。數字微鏡器件DMD全息顯示的另一個主要問題是相干光源的散斑噪聲招狸。散斑是一種由散射相干光產生的隨機干涉圖樣，它會嚴重降低全息圖的質量邻薯。此外裙戏，高強度的相干斑干涉可以損害人類的視覺系統。通過對不同隨機相位圖生成的全息圖進行時域復用處理可以實現：通過疊加具有不相關散斑圖的多個全息圖來抑制散斑噪聲厕诡。這種方法 ...

物體累榜。后來，數字微鏡器件（DMD）被用作提高照明速度的主要器件。使用 DMD壹罚，在緊湊的 SPH 系統中同時實現了快速熒光成像和相位成像葛作。人們還探索了一些改進以提高 SPH 的性能，包括為壓縮感知選擇各種照明模式的適當順序以及開發(fā)同軸干涉測量以提高魯棒性猖凛。當前不足：（1）當前實現全息固有的相位步進（phase stepping）方法導致成像速度慢赂蠢，從而通量低。（2）Lee全息圖和超像素法都是以獨立像素為代價實現的辨泳，因此減少了重建圖像中有效像素的數量虱岂。（3）幾乎沒有報道將 SPI/SPH 應用于生物組織中的微觀結構成像，這主要是由于成像系統的性能有限和生物樣品的散射對比度相對較低菠红。文章創(chuàng)新點：基于 ...

基于DMD的320nm以下紫外光應用可靠性研究介紹許多大學第岖、研究中心和終端設備制造商已經發(fā)表了多篇關于使用DMD的無掩模光刻的論文。利用DMD的生產系統已經由多家原始設備制造商推出途乃。 通常绍傲，這些工具選擇使用多個中到高分辨率DMD以實現高數據吞吐量，并在365-410nm范圍內工作耍共。典型工作條件是在DMD上的3-5W / cm2 照明烫饼，溫度保持在30°C以下。 基于這些條件试读，制造商已經能夠將DMD系統穩(wěn)定運行杠纵。設備在 UV-A 范圍內的 3.4W/cm2 、25°C條件下始終表現出超過 3000 小時的運行時間钩骇。生產合格的UV DMD中使用的標準UV窗口具有320-400nm的可用透射率區(qū)間比藻。為 ...

開發(fā)出反射式數字微鏡器件（DMD）被廣泛應用于投影儀中。這一系列技術支持下倘屹，人們的日常生活更加豐富银亲。后來隨著技術發(fā)展，出現了微機電系統（MEMS）和新型電光材料等纽匙，也出現了新型空間光調制器务蝠，例如液晶空間光調制器（LC-SLM）、光柵光閥（GLV）等烛缔。1馏段、液晶顯示器LCD液晶是一種介于液態(tài)和固態(tài)之間的材料，具有良好的電光效應性能践瓷。LCD 利用了液晶雙折射效應和扭曲向列效應構成的混合場效應院喜。在扭曲向列液晶盒兩側加入偏振方向相互平行的偏振片，就構成了單個LCD像素單元晕翠。當沒有對液晶盒施加電壓時喷舀，入射光經過起偏器成為線偏振光，經過液晶時偏振方向隨著液晶分子取向旋轉，Z后偏振方向與檢偏器相互垂直元咙，此時該 ...