中文：數(shù)字微鏡器件悍缠；英文：digital micromirror device / DMD

evice”數(shù)字微鏡器件,是一種基于MEMS技術(shù)的微反射鏡陣列單元嗅战，單元數(shù)量可達(dá)百萬量級(jí)妄田，是一種電子輸入、光學(xué)輸出的微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)驮捍，開發(fā)人員可借助該系統(tǒng)執(zhí)行高速疟呐、高效及可靠的空間光調(diào)制。圖1：DMD單個(gè)工作單元圖示1东且、何為無掩模光刻启具？無掩膜光刻即不采用光刻掩模板的光刻技術(shù)。在傳統(tǒng)光刻過程中珊泳，需要采用光學(xué)照射掩模版的方式將圖案轉(zhuǎn)移到掩模版上富纸；而在無掩模光刻中囤踩，對(duì)目標(biāo)圖案的轉(zhuǎn)印不需要掩模版旨椒，而是通過電子束或光學(xué)的方式直接在基片上制作出所需要的圖案晓褪，這種方式避免了傳統(tǒng)方式制作掩模版效率低、分辨率低综慎、成本高的缺點(diǎn)涣仿。2、何為DMD無掩模光刻示惊？DMD無掩模光刻是光學(xué)無掩模光刻技術(shù)的一種好港，該技術(shù)使 ...

包括毛玻璃、數(shù)字微鏡器件米罚、LED陣列钧汹，最快刷新頻率可以達(dá)到100MHz量級(jí)。近年來出現(xiàn)的波導(dǎo)相位調(diào)制集成光路等技術(shù)使得光源調(diào)制方式實(shí)現(xiàn)了固態(tài)化（見圖2）录择。本課題組也自主研制了大功率拔莱、刷新頻率可達(dá)幾十kHz的高性能可編程贗熱光源，對(duì)一定距離的室外運(yùn)動(dòng)目標(biāo)實(shí)現(xiàn)了準(zhǔn)實(shí)時(shí)成像隘竭。在成像算法方面塘秦，壓縮感知和機(jī)器學(xué)習(xí)大幅減少了成像所需采樣次數(shù)，提升了關(guān)聯(lián)成像速度动看。同時(shí)尊剔，為了實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)物體的實(shí)時(shí)成像，減少算法的耗時(shí)也是值得關(guān)注的問題菱皆。圖2硅基芯片耦合多模光纖的二維贗熱光源及成像裝置示意圖其次须误，根據(jù)實(shí)際場(chǎng)景優(yōu)化成像策略，也可以提升關(guān)聯(lián)成像速度仇轻。通過設(shè)計(jì)照明方式京痢，關(guān)聯(lián)成像獲取物體信息的方式比傳統(tǒng)成像更加靈活。現(xiàn)有方 ...

DMD在雙光子激發(fā)顯微鏡中應(yīng)用時(shí)間聚焦是一種高度并行的激光激發(fā)技術(shù)拯田，廣泛應(yīng)用于細(xì)胞動(dòng)態(tài)成像历造、光遺傳學(xué)和微制造等領(lǐng)域。雖然時(shí)間聚焦多光子激發(fā)顯微鏡能在寬視場(chǎng)成像船庇，但在軸向分辨率方面?zhèn)鹘y(tǒng)點(diǎn)掃描多光子顯微技術(shù)更占優(yōu)勢(shì)吭产。一種改進(jìn)方式是采用線掃描的工作方式，將光線聚焦到線中來對(duì)激發(fā)平面進(jìn)行圖形化鸭轮，提高軸向分辨率臣淤。而使用DMD可以有效實(shí)現(xiàn)對(duì)光的快速空間調(diào)制，在激發(fā)面形成動(dòng)態(tài)圖樣窃爷。同時(shí)由于DMD的圖樣可編程性邑蒋，可以控制線寬姓蜂，也可以同時(shí)照明多條線，并快速掃過樣品医吊。這有利于實(shí)際實(shí)驗(yàn)中平衡照明區(qū)域和軸向分辨率的不同需求钱慢。上圖為實(shí)驗(yàn)裝置示意圖。激光束經(jīng)過反射光柵衍射卿堂，通過兩個(gè)凸透鏡將經(jīng)過衍射的光束投射在DMD的微鏡 ...

從歷史上看束莫，數(shù)字微鏡器件（DMD）技術(shù)的主要應(yīng)用一直是在顯示系統(tǒng)中，在過去數(shù)年中草描，DLP嵌入式用戶正在探索許多新的應(yīng)用览绿。其中許多應(yīng)用都考慮將激光器與 DMD結(jié)合使用。激光使用連續(xù)和脈沖模式操作穗慕。脈沖操作的眾多優(yōu)點(diǎn)之一是饿敲，在脈沖期間可以達(dá)到非常高的峰值功率，并且平均功耗相對(duì)較低逛绵。這種工作模式可實(shí)現(xiàn)各種燒蝕模式（熱和非熱）怀各，適用于沉積、醫(yī)療和其他應(yīng)用暑脆。過去依據(jù)穩(wěn)態(tài)熱模型來預(yù)測(cè)DMD陣列和像素的溫度渠啤，并以模型為基礎(chǔ)形成Vialux的DMD數(shù)據(jù)手冊(cè)上最大照明功率密度規(guī)格。然而在考慮脈沖激光照明條件時(shí)添吗，DMD的像素瞬態(tài)溫度不能被忽視沥曹。大溫差和高溫會(huì)降低DMD的半導(dǎo)體器件使用壽命。即使極短時(shí)間高溫碟联，在多周 ...

《DMD的激光功率處理》白皮書介紹（二）《《DMD的激光功率處理》白皮書介紹（一）》中提到DMD在不斷拓展應(yīng)用場(chǎng)景時(shí)面臨許多挑戰(zhàn)妓美。而在脈沖激光系統(tǒng)中應(yīng)用時(shí)，激光功率和其造成的數(shù)字微鏡升溫問題尤為重要鲤孵。我們需要知道其中制約關(guān)系壶栋，防止在實(shí)際使用中損壞DMD器件。前文介紹了單個(gè)DMD微鏡在不同脈沖激光條件下升溫降溫過程普监，并建立描述這一過程的物理模型贵试。接下來的內(nèi)容是將單個(gè)微鏡的升溫過程置于微鏡陣列和基底環(huán)境中，以求得在DMD使用場(chǎng)景下應(yīng)當(dāng)遵循的一般使用條件凯正。前文模型僅預(yù)測(cè)單像素溫度上升模式毙玻，為確定總像素溫度，必須知道陣列溫度廊散。陣列溫度取決于特定的封裝桑滩。在確定的輸入光能量時(shí)，陣列溫度一般與封裝背面的陶瓷 ...

激光器可采用數(shù)字微鏡器件(DMD)作為濾波器允睹。與Mach-Zehnder干涉儀运准、Sagnac濾波器和光纖布拉格光柵相比幌氮，DMD具有高速調(diào)諧和不同波長(zhǎng)之間靈活切換的優(yōu)勢(shì)。您可以通過我們的官方網(wǎng)站了解更多的產(chǎn)品信息胁澳，或直接來電咨詢4006-888-532该互。 ...

本文介紹一種數(shù)字微鏡器件(DMD)全息顯示技術(shù)。系統(tǒng)利用激光二極管(LD)陣列听哭，應(yīng)用結(jié)構(gòu)照明(SI)來擴(kuò)展DMD的小衍射角慢洋。為了消除SI的衍射噪聲，在傅里葉濾波器中采用有源濾波器陣列陆盘，并將其與LD陣列同步。利用DMD的快速運(yùn)行特性败明，通過時(shí)域復(fù)用降低散斑噪聲隘马。此系統(tǒng)可在大視角下觀察到無斑點(diǎn)噪聲的全息圖。數(shù)字微鏡器件DMD全息顯示的另一個(gè)主要問題是相干光源的散斑噪聲妻顶。散斑是一種由散射相干光產(chǎn)生的隨機(jī)干涉圖樣酸员，它會(huì)嚴(yán)重降低全息圖的質(zhì)量。此外讳嘱，高強(qiáng)度的相干斑干涉可以損害人類的視覺系統(tǒng)幔嗦。通過對(duì)不同隨機(jī)相位圖生成的全息圖進(jìn)行時(shí)域復(fù)用處理可以實(shí)現(xiàn)：通過疊加具有不相關(guān)散斑圖的多個(gè)全息圖來抑制散斑噪聲。這種方法 ...

物體沥潭。后來邀泉，數(shù)字微鏡器件（DMD）被用作提高照明速度的主要器件。使用 DMD钝鸽，在緊湊的 SPH 系統(tǒng)中同時(shí)實(shí)現(xiàn)了快速熒光成像和相位成像汇恤。人們還探索了一些改進(jìn)以提高 SPH 的性能，包括為壓縮感知選擇各種照明模式的適當(dāng)順序以及開發(fā)同軸干涉測(cè)量以提高魯棒性拔恰。當(dāng)前不足：（1）當(dāng)前實(shí)現(xiàn)全息固有的相位步進(jìn)（phase stepping）方法導(dǎo)致成像速度慢因谎，從而通量低。（2）Lee全息圖和超像素法都是以獨(dú)立像素為代價(jià)實(shí)現(xiàn)的颜懊，因此減少了重建圖像中有效像素的數(shù)量财岔。（3）幾乎沒有報(bào)道將 SPI/SPH 應(yīng)用于生物組織中的微觀結(jié)構(gòu)成像，這主要是由于成像系統(tǒng)的性能有限和生物樣品的散射對(duì)比度相對(duì)較低河爹。文章創(chuàng)新點(diǎn)：基于 ...

基于DMD的320nm以下紫外光應(yīng)用可靠性研究介紹許多大學(xué)匠璧、研究中心和終端設(shè)備制造商已經(jīng)發(fā)表了多篇關(guān)于使用DMD的無掩模光刻的論文。利用DMD的生產(chǎn)系統(tǒng)已經(jīng)由多家原始設(shè)備制造商推出昌抠。 通常患朱，這些工具選擇使用多個(gè)中到高分辨率DMD以實(shí)現(xiàn)高數(shù)據(jù)吞吐量，并在365-410nm范圍內(nèi)工作炊苫。典型工作條件是在DMD上的3-5W / cm2 照明裁厅，溫度保持在30°C以下冰沙。 基于這些條件，制造商已經(jīng)能夠?qū)MD系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行执虹。設(shè)備在 UV-A 范圍內(nèi)的 3.4W/cm2 拓挥、25°C條件下始終表現(xiàn)出超過 3000 小時(shí)的運(yùn)行時(shí)間。生產(chǎn)合格的UV DMD中使用的標(biāo)準(zhǔn)UV窗口具有320-400nm的可用透射率區(qū)間袋励。為 ...

開發(fā)出反射式數(shù)字微鏡器件（DMD）被廣泛應(yīng)用于投影儀中侥啤。這一系列技術(shù)支持下，人們的日常生活更加豐富茬故。后來隨著技術(shù)發(fā)展盖灸，出現(xiàn)了微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）和新型電光材料等，也出現(xiàn)了新型空間光調(diào)制器磺芭，例如液晶空間光調(diào)制器（LC-SLM）赁炎、光柵光閥（GLV）等。1钾腺、液晶顯示器LCD液晶是一種介于液態(tài)和固態(tài)之間的材料徙垫，具有良好的電光效應(yīng)性能。LCD 利用了液晶雙折射效應(yīng)和扭曲向列效應(yīng)構(gòu)成的混合場(chǎng)效應(yīng)放棒。在扭曲向列液晶盒兩側(cè)加入偏振方向相互平行的偏振片姻报，就構(gòu)成了單個(gè)LCD像素單元。當(dāng)沒有對(duì)液晶盒施加電壓時(shí)间螟，入射光經(jīng)過起偏器成為線偏振光吴旋，經(jīng)過液晶時(shí)偏振方向隨著液晶分子取向旋轉(zhuǎn)，Z后偏振方向與檢偏器相互垂直寒亥，此時(shí)該 ...