會產(chǎn)生明顯的色差問題锦募。直到 2013 年摆屯，電子科技大學(xué)物理電子學(xué)院和中科院微電子所改變聚焦成像系統(tǒng)，研制了基于全反射聚焦光學(xué)系統(tǒng)的深紫外（DUV）寬帶光譜橢偏儀糠亩。該橢偏儀采用基于離軸拋物面鏡和平面反射鏡的全反射式光學(xué)系統(tǒng)實現(xiàn)寬光譜（200-1000 nm）測量虐骑，離軸拋物面鏡用于產(chǎn)生或聚焦準直 光束，平面反射鏡用于改變光束方向并補償由離軸拋物面鏡反射引起的偏振態(tài)變化赎线，解決了色差問題廷没。2016 年，合肥工業(yè)大學(xué)和中國科學(xué)院微電子所在深紫外寬帶光譜儀的基礎(chǔ)上增加快速旋轉(zhuǎn)補償器式的橢偏結(jié)構(gòu)垂寥，該結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了寬光譜成像颠黎，將光譜范圍拓寬到深紫外波段，橫向分辨率約為8. 77μm×4. 92μm滞项，并減小了系統(tǒng)誤 ...
出的光經(jīng)過消色差透鏡和單色儀會聚至光纖狭归，通過光纖的光經(jīng)過準直透鏡變?yōu)橐皇叫泄猓摴馐?jīng)過起偏器和旋轉(zhuǎn)補償器后入射樣品文判，樣品的反射光經(jīng)過旋轉(zhuǎn)補償器过椎、檢偏器和成像透鏡后進入CMOS相機。相機上各像素接收的光束對應(yīng)的Stokes向量可以表示為式中：Mp戏仓、MA疚宇、、和MS分別為起偏器赏殃、檢偏器敷待、旋轉(zhuǎn)補償器和樣品的Muller矩陣；和表示旋轉(zhuǎn)補償器1和2的相位延遲量嗓奢；R(ε)為各光學(xué)元件的旋轉(zhuǎn)矩陣讼撒，其中ε可以表示入射面與雙旋轉(zhuǎn)補償器的快軸方向的夾角 C1、C2股耽，也可以表示入射面和起偏器根盒、檢偏器的透光軸方向的夾角P和A；Sin為入射光束的Stokes向量物蝙，為[1000]T炎滞。將上式展開，可得對應(yīng)像素采集的光強 ...
類型诬乞。一册赛、消色差物鏡這是應(yīng)用zui廣泛的一類物鏡钠导，一般只要對軸上點校正好色差和球差，并使之滿足正弦條件而達到對近軸點消彗差即可森瘪，因此只能用于中低檔的普及型顯微鏡中作一般觀察之用牡属。下面幾種典型的消色差物鏡，由于其結(jié)構(gòu)型式有利于帶球差的校正扼睬，仍為人們所廣泛采用逮栅。1）單組雙膠合低倍物鏡 見圖下圖1，這是可能實現(xiàn)上述像差要求的zui簡單結(jié)構(gòu)窗宇，能承擔(dān)的zui大相對孔徑為1:3措伐，因此數(shù)值孔徑只能達0.1~0.15，相應(yīng)的倍率為3~6倍军俊。圖12）里斯特型中倍物鏡 如下圖2所示侥加，由二組雙膠合鏡組組成。它能達到的數(shù)值孔徑為單組的二倍粪躬，即0.2~0.3担败，相應(yīng)的倍率為8~20倍。它是更復(fù)雜的其他型式物鏡的基礎(chǔ)短蜕。圖2 ...
上氢架，由于中心色差就會使透射率減少傻咖，石英玻璃的這種現(xiàn)象已經(jīng)得到改善朋魔；氟化鋰則表現(xiàn)出輕微的潮解特性。對于紫外波段使用的光學(xué)元件卿操，減輕重量會利于光刻工藝警检。對于用KrF準分子激光器(波長248nm)、 ArF準分子激光器(波長193nm)和F?準分子激光器(波長157nm)作光源的害淤，一般選用鹵化物晶體作為諧振 腔窗口材料扇雕，由于折射系數(shù)均勻性和變形相關(guān)的問題而使用石英玻璃來減輕鏡頭重量。由于色差校正無法 用一種玻璃材料進行窥摄，所以提出了幾種方案镶奉，包括一個具有標準具、棱鏡衍射光柵和光學(xué)反射鏡組合系統(tǒng)的高頻窄帶準分子激光器崭放。3.濾光片濾光片是光路中的重要組件之一哨苛，主要用來實現(xiàn)提取、增強币砂、減弱特定光線或圖像以達 ...
)建峭，并且以消色差方式運行。非常好的光學(xué)性能（均勻性 > 95%）可實現(xiàn)均勻照明决摧，從而激活分子亿蒸。此外凑兰，F(xiàn)FI 設(shè)置可實現(xiàn)無邊界拼接成像，圖像重疊zui小 (5%)边锁。定量熒光成像的平場照明 項目介紹：高斯輪廓的不均勻光照使得基于激光的寬視場熒光顯微鏡的定量分析具有很高的挑戰(zhàn)性姑食。許多因素，包括光源和照明光學(xué)有助于均勻性茅坛。當(dāng)需要幾百微米或毫米尺度的大視場時矢门，這些特性尤其困難。獲得一個圖像網(wǎng)格灰蛙，使邊界重疊祟剔，并在后處理中將圖像拼接在一起。如果光照不均勻摩梧，zui終拼接的圖像在每個單獨的圖像周圍都有暗淡的邊界物延。因此，細胞和組織樣本的測量是不可靠的仅父。非均勻光照的另一個缺點是分子的不均勻激活叛薯。那些zui靠近 ...
布置(以消除色差):使用焦距750 mm的金色球面鏡。使用合適的帶通光譜濾波器限制光譜范圍(中心波長為4μm或2500 cm- 1500 nm帶寬笙纤，Thorlabs FB4000-500)耗溜。使用固定在20厘米掃描臺上的輻射熱計陣列(FLIR玻色子，640x480 px)記錄不同位置的光束輪廓;根據(jù)ISO標準11146省容，掃描范圍涵蓋必要的瑞利距離抖拴。圖2上圖2。通過M2表征(4μm中心波長腥椒，500 nm帶寬)獲得的中紅外超連續(xù)譜束在不同位置的分布:(a-c)靠近焦點位置(a,b為特意像散光束的長阿宅、次軸);(d)在準直器后直接測量的超連續(xù)譜激光源的實際出射光束(歸一化，輻射熱計未進行現(xiàn)場校正)笼蛛。超連 ...
512)洒放，消色差，震動不敏感等特點滨砍。半導(dǎo)體技術(shù)在現(xiàn)代社會中扮演著越來越重要的角色往湿。隨著半導(dǎo)體器件尺寸的減小和集成度的提高，對檢測技術(shù)的要求也越來越高惋戏。紫外波前傳感器作為一種高精度的光學(xué)檢測手段领追，在半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域發(fā)揮了越來越重要的作用，應(yīng)用范圍也越來越廣泛日川。工作原理：昊量光電推出的紫外波前分析儀基于四波剪切干涉的原理蔓腐。四波剪切干涉技術(shù)克服了傳統(tǒng)哈特曼傳感器的局限性，可以直接檢測匯聚的激光龄句，同時獲得相位時需要的像素點大大減少回论，從而具有高分辨率散罕、高靈敏度和寬動態(tài)范圍，消色差等優(yōu)勢傀蓉。AUT-SID4-UV-HR紫外波前分析儀由高分辨率的相機和二維衍射光柵構(gòu)成欧漱，激光通過光柵后，待檢測的激光波前分成四束葬燎， ...
真误甚，場曲率;色差-波前色差，橫向和軸向色差等谱净。2. 通過物鏡窑邦、針孔單元和D7干涉儀的精確線性運動來測試視場。3. 檢測精度如下表所示：3.畸變校正1. DifroMetric軟件導(dǎo)出/導(dǎo)入數(shù)據(jù)傳輸為標準光學(xué)設(shè)計軟件(ODS)壕探。2. 物鏡的測量像差可用澤尼克條紋系數(shù)表示冈钦。3. 實測像差系數(shù)CFZM可與設(shè)計系數(shù)CFZD進行數(shù)據(jù)比較，DifroMetric和光學(xué)設(shè)計軟件之間可交互作用李请。4. 比較的結(jié)果有助于選擇參數(shù)包括-氣隙瞧筛，或其他參數(shù)，這對于在裝配過程中對待測件位置的調(diào)整有重要作用导盅。4.D7系統(tǒng)的優(yōu)點1. 測試介觀物鏡不需要參考鏡较幌。2. 測試介觀物鏡可在全光譜范圍VIS + NIR下進行。3. D ...
nm波段乍炉，消色差，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度嘁字，能夠精確測量紫外光波前的細微變化恩急。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學(xué)元件表征（DUV光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域）和表面檢測（透鏡和晶圓等）纪蜒。193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導(dǎo)體/光刻機行業(yè)中具有重要作用。該傳感器具有高分辨率此叠，消色差纯续，對震動不敏感，高靈敏度（2nm RMS）等特點灭袁，可以為半導(dǎo)體制造和光刻機技術(shù)提供關(guān)鍵波像差數(shù)據(jù)猬错，有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，推動行業(yè)的發(fā)展茸歧。在光刻機行業(yè)中倦炒，高精度的波前傳感器是關(guān)鍵組件之一。它可以實時監(jiān)測和校正光刻機光學(xué)系統(tǒng)中的誤差软瞎，從而提高光刻質(zhì)量和成品率逢唤。這款新的紫 ...
束的能力和消色差而脫穎而出拉讯。該技術(shù)于2004年由Phasics在市場上推出，現(xiàn)在因其性能和易于集成而獲得國際認可鳖藕。圖2SID4波前傳感器圖3 棋盤格網(wǎng)柵三魔慷、190-400nm紫外波前傳感器四、400-1100nm可見光-近紅外波前傳感器五著恩、900-1700nm短波紅外波前傳感器六院尔、3-5 μm＆8-14 μm中紅外波前傳感器關(guān)于生產(chǎn)商：PHASICS成立于2003年，提供光學(xué)計量和成像解決方案喉誊，從獨立的SID4波前傳感器到全自動測試臺邀摆、Kaleo MTF、MultiWAVE伍茄，以及全模塊化計量解決方案Kaleo Kit隧熙。這一系列波前測量系統(tǒng)和定量相位成像解決方案基于創(chuàng)新的高分辨率波前傳感技術(shù)。P ...
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