中文：光刻機(jī)牢酵；英文：photo-etching machine

刻系統(tǒng)被稱為光刻機(jī)曼尊，帶有圖形的石英板稱為掩膜扭屁，光敏記錄材料被稱為光刻膠或抗蝕劑。具體光刻流程如下圖所示 光刻技術(shù)是集成電路制造涩禀、印刷電路板制造以及微機(jī)電元件制造等微納加工領(lǐng)域的核心技術(shù)之一。進(jìn)入21世紀(jì)以來,隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,集成電路的需求出現(xiàn)了井噴式的增長然眼。使的對掩膜的需求急劇增加艾船，目前制作掩膜的主要技術(shù)是電子束直寫，但該制作效率非常低下，并且成本也不容小覷屿岂，在這種背景下人們把目光轉(zhuǎn)移到了無掩膜光刻技術(shù)践宴。 備受關(guān)注的無掩膜光刻技術(shù)大概可以分為兩類：1）帶電粒子無掩膜光刻；例如電子束直寫和離子束光刻技術(shù)等爷怀。2）光學(xué)無掩膜技術(shù)阻肩；例如DMD無掩膜光刻技術(shù)、激光直寫运授、干涉光刻技 ...

DMD無掩膜光刻機(jī)SP-UV的優(yōu)勢之一是對DMD光學(xué)投影技術(shù)的應(yīng)用烤惊。這一技術(shù)在提高直寫精度和速度的同時，提供了四種不同的直寫分辨率吁朦。搭配Microlight3D的“快速切換”物鏡系統(tǒng)柒室，僅需2秒就能完成分辨率切換。Microlight3D首席執(zhí)行官Denis Barbier表示:“Microlight3D的SP-UV技術(shù)可以與更廣泛光刻膠材料相兼容逗宜。在為無掩模光刻的應(yīng)用開拓了新的領(lǐng)域的同時雄右，滿足了開發(fā)人員對多功能性和可負(fù)擔(dān)性的需求》慕玻”“我們使芯片實(shí)驗(yàn)室和其他領(lǐng)域(光電子學(xué)擂仍、MEMS、自旋電子學(xué))的研究人員可以更容易熬甚、更快速地在較大表面積上(120x120 mm2)逢渔，加工微米分辨率的復(fù)雜結(jié)構(gòu)。由于 ...

芯片科普——DMD光刻機(jī)你知道一個芯片是怎樣設(shè)計出來的么则涯？你又知道設(shè)計出來的芯片是怎么生產(chǎn)出來的么复局？看完這篇文章你就有大概的了解。一粟判、復(fù)雜繁瑣的芯片設(shè)計流程芯片制造的過程就如同用樂高積木蓋房子一樣亿昏，先有要有白色底板作為地基：這些白色的底板部分在芯片制作中對應(yīng)著的東西稱之為晶圓。再層層往上蓋一些其它積木档礁，就可以搭出我們心中的樂高（ IC芯片）角钩。可以類比樂高玩具的制作呻澜，我們首先想到的是樂高玩具的建模軟件递礼，和零件制作模具。因此羹幸，IC芯片的設(shè)計者脊髓、也會有一些軟件輔助規(guī)劃，也有相關(guān)的專門技術(shù)負(fù)責(zé)制作芯片的零件栅受。然而将硝，工程師們在設(shè)計一顆 IC 芯片時恭朗，究竟有那些步驟？設(shè)計流程可以簡單分成如下∫捞郏現(xiàn)在知名的芯 ...

助力半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展！摘要：昊量光電聯(lián)合法國Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析儀!該波前傳感器采用Phasics公司技術(shù)-四波橫向剪切干涉技術(shù)律罢，可以工作在190-400nm波段膀值，消色差，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度误辑，能夠精確測量紫外光波前的細(xì)微變化沧踏。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學(xué)元件表征（DUV光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域）和表面檢測（透鏡和晶圓等）稀余。193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)中具有重要作用悦冀。該傳感器具有高分辨率，消色差睛琳，對震動不敏感盒蟆，高靈敏度（2nm RMS）等特點(diǎn)，可以為半導(dǎo) ...

FAB-3D光刻機(jī)是該公司于2019年推出的第①臺緊湊臺式雙光子聚合系統(tǒng)师骗，一經(jīng)推出便得到客戶的廣泛好評历等。 MicroFAB-3D基于雙光子聚合激光直寫技術(shù)，可在各種光敏材料上制造出蕞小尺寸可達(dá)67nm的二維和三維特征結(jié)構(gòu)辟癌，兼容各種聚合物寒屯，包括生物兼容性材料、醫(yī)用樹脂和生物材料黍少，為微流控寡夹、微光學(xué)、細(xì)胞培養(yǎng)厂置、微機(jī)器人或人造材料領(lǐng)域開辟了新的前景菩掏。雙光子聚合激光直寫，也稱雙光子3D打印昵济，基于“雙光子吸收效應(yīng)”智绸， 可以將反應(yīng)區(qū)域限制在焦點(diǎn)附近較小的位置（稱之為“體元”），通過納米級精密移動臺访忿，使得該焦點(diǎn)在物質(zhì)內(nèi)移動瞧栗，焦點(diǎn)經(jīng)過的位置，光敏物質(zhì)發(fā)生變性海铆、固化迹恐，因此可以打印任意形狀的3D物體。雙光子聚合激光 ...

常用于半導(dǎo)體光刻機(jī)卧斟，或LCD光刻機(jī)殴边，PCB光刻機(jī)中對光源進(jìn)行勻化通熄，其由一片透鏡組成。二找都， 對于M^2< 10的激光器，微透鏡陣列會產(chǎn)生很多干涉亮斑廊酣，所以不是最理想的選擇能耻。1，高透過率diffuser：針對這類激光器亡驰，我們可以提供一種新型的PRIME beamshaper（單片鏡片）晓猛。PRIME的特點(diǎn)是，對光斑尺寸不敏感凡辱，對光斑位置不敏感戒职，對放置位置不敏感，從而使的調(diào)試變得非常簡單透乾，同時也減輕了M^<10的激光器配合復(fù)眼透鏡使用時會出現(xiàn)的過多干涉亮斑洪燥。組成：單片鏡片。輸出光斑形狀：可以根據(jù)客戶的要求設(shè)計成各種形狀乳乌。2捧韵，方形光纖：較傳統(tǒng)的圓形光纖，方形/八邊形光纖具有更高的耦合效率汉操，極 ...

DMD無掩膜光刻機(jī)再来、穩(wěn)頻激光器、高頻振動測量儀磷瘤、頻率梳等芒篷。NEOARK公司研發(fā)的產(chǎn)品性價比高、配置靈活采缚、可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化等特點(diǎn)针炉，可以很好的滿足工業(yè)和科研等方面的需求。目前上海昊量光電設(shè)備有限公司目前全權(quán)負(fù)責(zé)NEOARK公司在中國地區(qū)的所有市場推廣仰担、銷售以及售后服務(wù)等方面的工作糊识。 ...