中文：干涉维雇；英文：interference

馬赫-曾德爾干涉儀型腔的量子級(jí)聯(lián)激光器寬單模調(diào)諧量子級(jí)聯(lián)（QC）激光器是一種強(qiáng)大而緊湊的半導(dǎo)體光源。在中紅外波段晒他，它們是目前分子傳感中基于吸收的光譜系統(tǒng)中非常有利的光源吱型。由于這些系統(tǒng)利用了不同氣體分子的強(qiáng)而窄的吸收線，它們要求QC激光器在單模下工作陨仅，并且是連續(xù)的唁影，廣泛可調(diào)的耕陷。研究并實(shí)現(xiàn)了實(shí)現(xiàn)波長選擇性和可調(diào)性的不同方法。直到zui近据沈，大多數(shù)QC激光器的單模操作已經(jīng)通過在常規(guī)Fabry-Perot QC激光器的頂部合并周期性光柵實(shí)現(xiàn)哟沫，例如分布式反饋光柵或分布式布拉格反射器。然而锌介，需要在波長尺度上精確的周期結(jié)構(gòu)需要更復(fù)雜的制造步驟（例如嗜诀，電子束光刻），通常導(dǎo)致更高的成本和更低的產(chǎn)量孔祸。機(jī)械可移動(dòng)光柵 ...

干涉儀多平面測(cè)量干涉儀是一個(gè)高精度測(cè)量方法隆敢，但是測(cè)量樣品多個(gè)表面，每個(gè)表面都可能返回光束崔慧，影響測(cè)量拂蝎。如果需要測(cè)量樣品的多個(gè)面，每次測(cè)量一個(gè)面的時(shí)候惶室，需要在其他面涂抹消光材料抑制反光温自。這里講述描述一種，使用可調(diào)諧激光器一次性測(cè)量樣品多個(gè)面的方法皇钞。假設(shè)干涉儀返回的光束悼泌，包含三個(gè)面，一個(gè)是參考光夹界，第二個(gè)是樣品前表面的測(cè)試光馆里，第三個(gè)是樣品后邊面的返回光束。所以如果相機(jī)前的整個(gè)光束可以描述為沒有背景光的情況下通常不考慮背光反射的情況下可柿，干涉圖光強(qiáng)分布求解他的相位部分鸠踪，可以將整個(gè)光束乘以一個(gè)復(fù)平面后，做一個(gè)低通后求復(fù)角度复斥。做一個(gè)低通后求復(fù)角度营密。低頻部分為，所以只要求他復(fù)角就可以得到相位部分沒有背景光永票，但是 ...

使用f-2f干涉測(cè)量法來檢測(cè)載波包絡(luò)偏移頻率，它包含一個(gè)超連續(xù)譜產(chǎn)生模塊获雕、二次諧波產(chǎn)生材料和一個(gè)光電探測(cè)器聋丝。鎖定fceo的f-2f自參考過程通常要求激光擁有至少1 nJ的脈沖能量(即frep頻率= 1 GHz時(shí)，平均功率> 1 W)缀辩，這樣才能方便與干涉儀進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)臭埋。由于光頻梳偏頻測(cè)量模塊（COSMO）使用了納米光子波導(dǎo)踪央，它可以使用比傳統(tǒng)方法低得多的脈沖能量來檢測(cè)載波包絡(luò)偏移頻率，它允許以小于200 pJ (即frep頻率=1 GHz時(shí)瓢阴，平均功率< 200 mW畅蹂，其中frep是指重復(fù)頻率)的脈沖能量精確檢測(cè)fceo，這使得光頻梳偏頻測(cè)量模塊（COSMO）可以與各種頻率的光梳一起使 ...

四波橫向剪切干涉技術(shù)液斜，可以工作在190-400nm波段，消色差叠穆，具有2nm RMS的相位檢測(cè)靈敏度少漆，能夠精確測(cè)量紫外光波前的細(xì)微變化。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學(xué)元件表征（DUV光刻硼被、半導(dǎo)體等領(lǐng)域）和表面檢測(cè)（透鏡和晶圓等）示损。193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)中具有重要作用。該傳感器具有高分辨率嚷硫，消色差检访，對(duì)震動(dòng)不敏感，高靈敏度（2nm RMS）等特點(diǎn)论巍，可以為半導(dǎo)體制造和光刻機(jī)技術(shù)提供關(guān)鍵波像差數(shù)據(jù)烛谊，有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，推動(dòng)行業(yè)的發(fā)展嘉汰。在光刻機(jī)行業(yè)中丹禀，高精度的波前傳感器是關(guān)鍵組件之一。它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和校正光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng) ...

ehnder干涉儀鞋怀，該值適合于高比特率双泪。在室溫下，以10.3125Gb/s的直接調(diào)制速率密似，使用非歸零（NRZ）數(shù)據(jù)（偽隨機(jī)二進(jìn)制序列（PRBS）模式長度）評(píng)估頻率偏差焙矛。圖3(a)顯示了整個(gè)序列中20位的時(shí)間分辨啁啾和強(qiáng)度波形。圖3(b)給出了序列的細(xì)節(jié)残腌，啁啾的兩個(gè)組成部分（絕熱和瞬態(tài)）都很明顯村斟。在高比特率下，瞬態(tài)分量比絕熱分量更重要抛猫。在一長串邏輯“0”之后蟆盹，可以清楚地觀察到上升沿上的高超調(diào)，而這種超調(diào)在下降沿上不太明顯闺金。通過觀察邏輯狀態(tài)“0”和邏輯狀態(tài)“1”之間的頻率差逾滥，可以看到絕熱分量，大約為5GHz败匹。1.33-um VCSEL峰對(duì)峰啁啾值約為18-20GHz寨昙。在1.5-um直接調(diào)制VCSE ...

關(guān)重要讥巡。原子干涉檢測(cè)提供高精度和可擴(kuò)展技術(shù)能夠更敏感地檢測(cè)諸如更小的尺寸和更大深度等特征。許多原子光學(xué)應(yīng)用傾向于使用高激光功率舔哪，同時(shí)保持窄線寬和高空間光束質(zhì)量欢顷。例如，在利用冷原子干涉測(cè)量中尸红，從1560nm源生成780nm（SHG）用于銣原子的磁光捕獲（MOT）吱涉，如重力測(cè)量和原子鐘。[1]在這些應(yīng)用中外里，現(xiàn)成商用（COTS）激光器在1560nm波長上可以高轉(zhuǎn)換效率倍頻到780nm怎爵，在波導(dǎo)解決方案中已經(jīng)展示了高達(dá)70%的的轉(zhuǎn)換效率[2]。將商用泵浦激光器組件與倍頻晶體相結(jié)合盅蝗，可以經(jīng)濟(jì)地生成支持銣原子捕獲所需的功率和窄線寬的780nm激光鳖链。圖2：六個(gè)方向的激光用來冷卻原子（圖片來源：圖片來源：http ...

。波導(dǎo)墩莫、多模干涉器（MMI）耦合器和光柵耦合器的性能模擬結(jié)果表明芙委，300nm SiN肋層疊加在300nm LN層上的混合平臺(tái)適合太赫茲信號(hào)的電光采樣。下一節(jié)所展示的實(shí)驗(yàn)結(jié)果就是基于薄膜鈮酸鋰這個(gè)波導(dǎo)平臺(tái)狂秦。圖2.高折射率對(duì)比度薄膜鈮酸鋰混合波導(dǎo)的制造流程器件布局和制作器件如圖3所示灌侣。光通過為TE模式設(shè)計(jì)的光柵耦合器從光纖耦合到波導(dǎo)中。耦合到芯片上的光通過多模干涉器（MMI）耦合器平均分配到馬赫-曾德爾（MZ）調(diào)制器的兩個(gè)臂上裂问。馬赫-曾德爾（MZ）調(diào)制器中每個(gè)臂的長度為6mm侧啼。然后，馬赫-曾德爾調(diào)制器的兩個(gè)臂中的光再次通過多模干涉器耦合器合并堪簿，并使用第二個(gè)光柵耦合器耦合到輸出光纖痊乾。切割后的設(shè)備的總 ...

四波橫向剪切干涉儀，稱為SID4波前傳感器椭更，QWLSI技術(shù)是為了克服Shack-Hartmann (SH)技術(shù)的分辨率不足而開發(fā)的哪审。它采用了智能衍射光柵設(shè)計(jì)，具有高靈敏度虑瀑、高分辨率湿滓、高重復(fù)性的特點(diǎn)。圖1 SID4波前傳感器部分測(cè)試結(jié)果圖★什么是波前傳感器?波前傳感器是一種設(shè)計(jì)用來測(cè)量光波前的裝置舌狗。術(shù)語“波前傳感器”;適用于不需要任何參考光束干擾的波前測(cè)量儀器叽奥。波前傳感器的應(yīng)用范圍很廣，如光學(xué)測(cè)試和對(duì)準(zhǔn)(表面測(cè)量)把夸、傳輸波前誤差測(cè)量而线、調(diào)制铭污×等眨★QWLSI四波橫向剪切干涉測(cè)量原理四波橫向剪切干涉測(cè)量(QWLSI原理) 具有納米級(jí)靈敏度和高分辨率的相位和強(qiáng)度膀篮。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)依靠衍射光柵將入射光束復(fù)制成4 ...

四波橫向剪切干涉法的超表面光學(xué)表征法國CNRS CRHEA 實(shí)驗(yàn)室,S. Khadir- arXiv:2008.11369v1下圖2描述了對(duì)一個(gè)Pancharatnam-Berry (PB) 超透鏡使用了兩種不同的圓偏振態(tài)進(jìn)行測(cè)量：右旋和左旋。根據(jù)設(shè)計(jì)岂膳，當(dāng)改變偏振狀態(tài)時(shí)誓竿，該超透鏡會(huì)生該超透鏡會(huì)生成正透鏡或負(fù)透鏡。圖2: 左側(cè)顯示波前曲率的相位圖谈截，右側(cè)是其相應(yīng)的曲線輪廓筷屡。中間相位圖譜展示在濾掉波前曲率后殘余的波前誤差。Phasics的QWLSI技術(shù)不會(huì)受到偏振的影響簸喂，因此在從右旋圓偏振切換到左旋圓偏振時(shí)毙死，我們的設(shè)備仍然可以對(duì)波前進(jìn)行詳細(xì)表征。圖2展示了波前曲率的變化喻鳄。此外扼倘，可以通過濾掉主要的波前 ...

允許引入光譜干涉。這些測(cè)量的載氣是CDA除呵，以確定絕對(duì)基線靈敏度再菊。這個(gè)低檢測(cè)水平構(gòu)成DMMP激光光聲檢測(cè)的噪聲限制底限。DMMP的低檢測(cè)水平為~ 0:5 ppb颜曾，這與我們使用基于CO2激光的光聲探測(cè)器進(jìn)行氨檢測(cè)的zui終靈敏度測(cè)量結(jié)果一致纠拔，其中，使用CO2激光功率為~ 2W泛豪，我們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了氨檢測(cè)靈敏度為~ 20萬億分之一稠诲，（ppt，零件數(shù)為1012）候址÷来猓考慮到單頻可調(diào)諧QCL的較低激光功率和差值圖4。在CDA中測(cè)量的100 ppb DMMP的QCL-PAS光譜覆蓋在DMMP的FTIR參考光譜上岗仑。在氨轉(zhuǎn)變的峰吸收系數(shù)[吸光度為~ 3:1 × 10?3 × ppm=mT?1]和DMMP特征[8][吸光 ...