激光干涉儀是如何測(cè)量位移的?激光干涉儀是一種廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究结蟋、工業(yè)制造和精密測(cè)量領(lǐng)域的儀器脯倚。在科學(xué)研究領(lǐng)域,激光干涉儀廣泛應(yīng)用于物理學(xué)嵌屎、化學(xué)和生物學(xué)等多個(gè)學(xué)科推正,為研究人員提供了強(qiáng)大的工具。在工業(yè)制造中宝惰,激光干涉儀在精密加工植榕、質(zhì)量控制和自動(dòng)化生產(chǎn)中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。激光干涉儀的基本原理是利用激光的干涉效應(yīng)進(jìn)行測(cè)量和分析尼夺。在國(guó)際上尊残,有多種常用的激光干涉儀技術(shù),如邁克爾遜干涉儀淤堵、法布里-珀羅干涉儀和雅各比干涉儀等寝衫。法布里-珀羅干涉儀是一種常用的干涉儀哺壶,其為基于光學(xué)諧振腔原理的干涉儀器卸奉。核心是由兩平行的反射鏡構(gòu)成的腔體,其中的激光通過(guò)多次反射形成諧振嗅虏,從而形成干涉條紋扎阶。該技術(shù)在光譜分析汹胃、精密測(cè)量和光學(xué) ...
曾德?tīng)栃屯獠?span style="color:red;">干涉橢偏測(cè)量系統(tǒng),研究了多層介質(zhì)膜NPBS的退偏效應(yīng)和方位角引入的橢偏參數(shù)測(cè)量誤差东臀。采用p着饥,s分量透射比、反射比K啡邑、反射相移贱勃、透射相移共同表征NPBS的退偏效應(yīng)井赌,建立了相應(yīng)的誤差模型谤逼。研究結(jié)果表明,由環(huán)境溫度仇穗、入射角和光束偏振態(tài)的變化引起的NPBS退偏參數(shù)的漂移對(duì)橢偏測(cè)量精度影響很大流部,且無(wú)法通過(guò)標(biāo)定來(lái)降低;為實(shí)現(xiàn)納米級(jí)測(cè)量精度纹坐,NPBS的對(duì)準(zhǔn)誤差需要控制在0.1°以?xún)?nèi)枝冀。相對(duì)而言,用于合光的NPBS2方位角誤差對(duì)測(cè)量精度影響較大,而測(cè)量光路中的NPBS1對(duì)相位差誤差影響很小果漾,二者的參數(shù)漂移對(duì)測(cè)量精度的影響基本一致球切。NPBS所導(dǎo)致的膜厚測(cè)量總誤差約為1.8~2.5nm,與PBS引入的誤 ...
古.連續(xù)偏光干涉法測(cè)量波片寬波段延遲量變化[J].激光技術(shù),2012,36(2):258-261.4趙振堂,林天夏,黃佐華,何振江.利用消光式橢偏儀精確測(cè)量波片相位延遲量[J].激光雜志,2012,33(3):8-9.5程一斌,侯俊峰,王東光.組合波片的橢圓率角測(cè)量方法[J].北京理工大學(xué)學(xué)報(bào),2019,39(7):750-755.6于德洪,李國(guó)華,蘇美開(kāi),宋連科.任意波長(zhǎng)云母波片位相延遲的測(cè)量[J].光電子.激光,1990,1(5):267-269.7徐文東,李錫善.波片相位延遲量精密測(cè)量新方法[J].光學(xué)學(xué)報(bào),1994,14(10):1096-1101.8薛慶文,李國(guó)華.半陰法測(cè)量λ/4波 ...
位移測(cè)量1激光干涉儀激光干涉儀是采用干涉技術(shù)進(jìn)行位移測(cè)量的儀器绒障。它具有非接觸吨凑、高速、高精度測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)户辱,廣泛應(yīng)用在光刻鸵钝、精密機(jī)械加工和坐標(biāo)測(cè)量領(lǐng)域中。(1)單頻激光干涉儀與外差激光干涉儀設(shè)入射到光電探測(cè)器的兩束線(xiàn)偏振光為E1和E2,兩者的偏振方向相同庐镐,光頻分別為f1和f2這兩束光可表示為:式中恩商,V1和V2為振幅;φ1和φ2為初位相必逆。兩束光波進(jìn)行干涉后的信號(hào)強(qiáng)度為:當(dāng)為f1=f2時(shí)怠堪,干涉儀稱(chēng)為單頻型干涉儀。位移通過(guò)干涉信號(hào)的位相變化來(lái)測(cè)量末患。干涉信號(hào)直流電平的波動(dòng)影響了位相測(cè)量的準(zhǔn)確性研叫,原因是由于激光功率的變化。guo家物理實(shí)驗(yàn)室開(kāi)發(fā)出的干涉儀璧针,采用3個(gè)位相分別為0°,90°嚷炉、180°的干涉信號(hào)的組 ...
試儀、直線(xiàn)度干涉儀探橱、準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡及激光準(zhǔn)直儀申屹。(2)斜率積分此方法基于局部斜率測(cè)量技術(shù)和對(duì)高度差求和的表面輪廓重建技術(shù)。因此隧膏,被測(cè)量是角度及距離哗讥。對(duì)于角度測(cè)量,需要獨(dú)立的參考基準(zhǔn)胞枕。對(duì)于采用光學(xué)方法進(jìn)行角度測(cè)量杆煞,是以視線(xiàn)為基準(zhǔn)的。對(duì)于機(jī)械式斜率測(cè)量通常指的是重力線(xiàn)腐泻。傾斜角測(cè)量是采用自準(zhǔn)直儀决乎,角干涉儀或電子水準(zhǔn)儀來(lái)實(shí)現(xiàn)的。3基于光束的直線(xiàn)度測(cè)量對(duì)于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)派桩,基準(zhǔn)或參考基線(xiàn)定義為精密光學(xué)儀器的光軸构诚。在不同配置的望遠(yuǎn)鏡、準(zhǔn)直儀和靶標(biāo)铆惑,位置或角度對(duì)測(cè)量很敏感范嘱。(1)對(duì)準(zhǔn)式望遠(yuǎn)鏡:它要建立準(zhǔn)確的視線(xiàn)送膳。光學(xué)系統(tǒng)的根本特性是聚焦過(guò)程中要精確保證系統(tǒng)光軸方向不變。從望遠(yuǎn)鏡筒末端到無(wú)窮遠(yuǎn)物距的大范圍內(nèi)丑蛤,這些儀器 ...
射后叠聋,由多光干涉的公式可得zui終反射系數(shù)為:其中,d是膜厚受裹,λ是真空中光的波長(zhǎng)晒奕,2δ是相鄰兩束反射光的相位差。振幅名斟、相位是描述光波偏振狀態(tài)的兩個(gè)參數(shù)脑慧,在橢偏儀中用Ψ、△來(lái)表示砰盐。其取值范圍是:0≤Ψ≤π/2闷袒,0≤△<2π⊙沂幔總反射系數(shù)比值定義為ρ囊骤,ρ與(Ψ,△)冀值、(Rp也物,Rs)關(guān)系式如下:其中,tgΨ為反射前后P列疗、S光兩分量的振幅衰減比滑蚯,△=δp?δs為P、S兩分量相位變化差抵栈「娌模可以清楚地看到Ψ、△直接給出反射前和反射后光偏振狀態(tài)變化古劲。在襯底斥赋、入射角、波長(zhǎng)等確定已知的條件下产艾,Ψ疤剑、△是膜厚d和薄膜折射率n的函數(shù),可表示為下式:由上式可知薄膜反射后闷堡,橢偏光偏振狀態(tài)發(fā)生改變隘膘,成為另一種橢偏光。測(cè)量 ...
常見(jiàn)的磁測(cè)量技術(shù)一些磁性材料缚窿,如納米線(xiàn)棘幸、納米粒子焰扳、薄膜等倦零,由于存在少量磁性材料误续,通常具有弱磁特征。因此扫茅,在確定哪種類(lèi)型的磁力計(jì)zui適合于特定材料時(shí)蹋嵌,zui重要的考慮因素之一是它的靈敏度,因?yàn)樗鼪Q定了可以用可接受的信噪比測(cè)量的zui小磁矩葫隙。測(cè)量速度栽烂,即測(cè)量遲滯回路所需的時(shí)間,也很重要恋脚,因?yàn)樗鼪Q定了樣品吞吐量腺办,對(duì)于一階反轉(zhuǎn)曲線(xiàn)(FORC)測(cè)量尤其重要,因?yàn)榈湫偷腇ORC系列可以包含數(shù)千到數(shù)萬(wàn)個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)糟描。zui后要考慮的是要進(jìn)行測(cè)量的溫度和場(chǎng)范圍怀喉,這在很大程度上取決于所研究的磁性材料。商用VSM系統(tǒng)可以使用傳統(tǒng)電磁鐵測(cè)量~34 kOe (3.4 T)的場(chǎng)強(qiáng)船响,也可以使用超導(dǎo)磁體測(cè)量160 kOe (1 ...
圍)激光器躬拢。干涉測(cè)量技術(shù)和全息術(shù)利用脈沖激光用于解決與記錄系統(tǒng)的穩(wěn)定性相關(guān)的問(wèn)題。光學(xué)遙感和通信應(yīng)用包含纖維主要利用Nd:YAG激光器见间。zui大能量的CO2激光器廣泛應(yīng)用于工業(yè)應(yīng)用聊闯,如材料加工(激光切割,焊接米诉,鉆孔菱蔬,等等),目前以上幾乎所有的激光器都應(yīng)用于醫(yī)療過(guò)程。了解更多詳情史侣,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè):http://www.wjjzl.com/three-level-330.html更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電關(guān)于昊量光電:上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商汗销,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調(diào)制器抵窒、光學(xué)測(cè)量設(shè)備弛针、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工李皇、光通訊削茁、生 ...
衍射1衍射的基本原理如圖1所示,考慮點(diǎn)光源Po發(fā)出的球面波(波長(zhǎng)為λ,幅值為Up,),照明某孔徑無(wú)限大不透明屏上孔徑掉房,我們來(lái)計(jì)算孔徑右邊空間某點(diǎn)P處的場(chǎng)值茧跋。包含P點(diǎn)的某閉合面由圖1中的S1、S2和S3組成卓囚。其中瘾杭,S2由于不透明,故對(duì)P點(diǎn)的場(chǎng)值沒(méi)有貢獻(xiàn)哪亿,半球區(qū)域S3,當(dāng)滿(mǎn)足索末菲輻射條件時(shí)就可以不考慮其對(duì)P點(diǎn)的貢獻(xiàn)粥烁。這樣贤笆,透光孔S1,決定了P點(diǎn)出的光波幅值Up。圖1衍射推導(dǎo)菲涅耳-基爾霍夫衍射公式:式中讨阻,(r1,n)為單位矢量r1和n之間的夾角芥永,(ro,n)為ro和n之間的夾角。傾斜因子[cos(r1,n)-cos(ro,n)].如果點(diǎn)光源離開(kāi)孔徑足夠遠(yuǎn)钝吮,對(duì)于孔徑上各點(diǎn)都有cos(r1,n)=1 ...
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