膜厚測量原理(六)-臺式薄膜測量系統(tǒng)的優(yōu)勢MPROBE20數(shù)秒內(nèi)的薄膜測量臺式MPROBE20可以快速葛作、簡便地測量厚度寿羞,光學(xué)常數(shù)(n和k)和透射率。這臺功能 齊全的儀器能測量1納米到1毫米厚的透光或半透光的薄膜赂蠢。精度一般在幾個埃绪穆。光斑大小可調(diào)節(jié)并且范圍很寬。超高的性價比Semiconsoft很高興能提供突破性的低價格虱岂,使原本又困難又昂資的薄膜測量變得很便宜很簡單玖院。附件 多種不同的平臺,晶圓平臺和特殊測量探頭可適合大部分樣品的尺寸第岖。在線測量針對制程應(yīng)用难菌,Semiconsoft的測量系統(tǒng)僅需要在光路上直視待測樣品,并提供與多種控割系統(tǒng)的接口蔑滓。把顯微鏡變成薄膜厚度測量工具用于圖形化表面和光斑小至10 ...
上郊酒,上半部分折射率為n1,下半部分折射率為n2键袱,光會在界面處發(fā)生反射和折射燎窘,如下圖所示。示意圖 單色光在各向同性且材質(zhì)均勻的界面上的反射和折射其中Eip蹄咖、Erp和Etp分別為p光的入射褐健、反射和折射電矢量,Eis澜汤、Ers和Ets分別為s光的入射蚜迅、反射和折射電矢量,θ1和θ2為入射角和折射角俊抵。光波電矢量可以分解為振動方向平行于入射面的p光和振動方向垂直于入射面的s光谁不。分別定義p光和s光的反射系數(shù)rp和rs,由麥克斯韋方程組和邊界條件徽诲,能夠推導(dǎo)出p光拍谐、s光的反射系數(shù)與介質(zhì)折射率烛缔、入射角和折射角的關(guān)系,即菲涅耳反射系數(shù)轩拨。如果您對橢偏儀有興趣践瓷,請訪問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁:https://www.aun ...
由各層薄膜的折射率、消光系數(shù)和膜層厚度等參量決定亡蓉,故可表達(dá)為式中:n1晕翠、n2和n3分別為空氣、薄膜和襯底的折射率砍濒;k2和k3分別為薄膜和襯底的消光系數(shù)淋肾。通過對Ψ和Δ的擬合,可以得出被測物體的參量爸邢。橢偏技術(shù)按采樣原理可以分為消光式和光度式 樊卓,也稱為零橢偏法與非零橢偏法。消光式橢偏測量方法在每一個波長通過旋轉(zhuǎn)起偏器和補(bǔ)償器后尋找到合適的角度杠河,使經(jīng)樣品反射后的偏振光為線性偏振光碌尔,然后調(diào)整檢偏器角度產(chǎn)生消光效果后,記錄此時檢偏器和起偏器相對于入射平面的角度券敌,計算出樣品對應(yīng)的參數(shù)唾戚。光度式橢偏測量方法則是對探測器接收到的光強(qiáng)進(jìn)行傅里葉分析,推導(dǎo)出所測樣品的特性待诅,并不需要測量角度叹坦,盡可能排除了人為誤差,測量 ...
但對于透明或折射率差異小的樣品卑雁,其對比度和分辨率較低募书。對藍(lán)藻和綠藻而言,綠藻主要含有葉綠素测蹲,可以用藍(lán)光有效地激發(fā)锐膜。藍(lán)藻含有藻膽體,最好用綠光激發(fā)弛房。根據(jù)不同色素的吸收特性,可以生成偽彩色圖像而柑,以區(qū)分藍(lán)藻和綠藻文捶。Lumencor的光引擎是通過一些列的固態(tài)光源(LED、自研發(fā)光管和激光器)構(gòu)成的媒咳,每個光源的數(shù)量粹排、波長、帶通涩澡、光功率和工作模式都可以針對應(yīng)用的需求為客戶量身定制顽耳,擁有一流的亮度、穩(wěn)定性和獨特的定量電子控制系統(tǒng),滿足客戶對于不同波長激發(fā)光的多種需求射富。下圖就是運(yùn)用該技術(shù)檢測在北卡羅來納州Betz湖所提取的水樣并生成的偽色彩圖像膝迎。由美國國家環(huán)境保護(hù)局公共衛(wèi)生與環(huán)境評估中心的Robert Zuc ...
英具有單一的折射率,其光譜折射率的分布是從0.55um處的1.460到1.81um處的1.444胰耗。為了制備具有高折射率棒芯(n1)和低折射率包層(n2)預(yù)制棒限次,必須通過“摻雜”,即在石英中摻以適當(dāng)?shù)膿诫s劑柴灯,如二氧化鍺(GeO2)或五氧化二磷(P2O5)卖漫,制成高折射率的棒芯,而以純石英材料為低折射率的包層赠群;也可以在石英中摻入折射率低于石英的摻雜劑如氟(F)羊始、三氧化二硼(B2O3),構(gòu)成低折射率的包層查描,同時以石英材料作為棒芯或在石英中摻入少量鍺以提高棒芯折射率突委。光纖預(yù)制棒的基本制備方法是采用化學(xué)氣相沉積工藝,具體過程采用“兩步法”叹誉;第一步是制造芯棒鸯两,同時制造部分包層;第二步是在芯棒上附加外包層(俗 ...
時长豁,由于材料折射率的不同钧唐,磁光材料中的左旋和右旋偏振光,即偏振面相對于入射光的偏振面偏轉(zhuǎn)一定角度的一種磁光現(xiàn)象匠襟。法拉第效應(yīng)產(chǎn)生的根本原因是磁光材料中的電子等磁性粒子發(fā)生光學(xué)躍遷钝侠。在磁場的作用下,這種躍遷使得在磁光材料內(nèi)部傳輸?shù)淖笮龍A偏振光和右旋圓偏振光產(chǎn)生一定的色散差酸舍,導(dǎo)致zui終透射光的偏振面相對入射光旋轉(zhuǎn)了一定角度帅韧。(2)磁線振雙折射當(dāng)一束線偏振光以垂直于磁場方向的方向從磁光材料傳輸時,線偏振光被分解成兩個偏振光啃勉,兩種偏振光在材料中以不同的相速度傳播忽舟,即產(chǎn)生磁雙折射,這就是磁線振動雙折射效應(yīng)淮阐。磁線振動雙折射效應(yīng)與磁性材料的磁致伸縮密切相關(guān)叮阅,根據(jù)磁光材料的磁線振動雙折射現(xiàn)象不同,可分為Cot ...
窮大能量時的折射率,Eg,A,B,C則為正的常數(shù)泣特;10.形模型 為了在較寬的頻譜上表達(dá)物質(zhì)的光學(xué)常數(shù),一般需要考慮上述多種模型浩姥,則可以得到:L(E)為某些特定的線形,例如高斯線形、洛倫茲形状您、臨界點線形等, B(E)為能量緩變的背景勒叠。如果您對橢偏儀相關(guān)產(chǎn)品有興趣兜挨,請訪問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁:http://www.wjjzl.com/three-level-56.html更多詳情請聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電關(guān)于昊量光電:上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器眯分、光電調(diào)制器拌汇、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等颗搂,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工担猛、光通訊、生物醫(yī)療丢氢、科學(xué)研究傅联、國 ...
膜層的厚度及折射率和 吸收系數(shù),檢驗?zāi)拥木鶆蛐跃尾欤瑤椭b別膜層組分蒸走,測量物質(zhì)的折射率和消光系數(shù),研究各種表面層和表面過程貌嫡,諸如氧化比驻、腐蝕、吸附岛抄、潤滑别惦、催化等。因此夫椭,橢偏光儀在許多工業(yè)部門和基本研究中都可應(yīng)用掸掸。(1)固體薄膜光學(xué)性質(zhì)的測量應(yīng)用橢偏術(shù)可對單層吸收膜、雙層膜及多層膜進(jìn)行測量,得到材料的光學(xué)常數(shù)折射率N和吸收系數(shù)K,進(jìn)而得到其介電常數(shù)蹭秋。近年來也實現(xiàn)了對離子注入損傷分布的測量扰付、超晶格、粗糙表面仁讨、界面的測量羽莺。(2)物理吸附和化學(xué)吸附用橢偏術(shù)方法在現(xiàn)場且無損地研究過與氣態(tài)、液態(tài)周圍媒質(zhì)相接觸地表面上吸附分子或原子形態(tài)的問題洞豁。(3)界面與表面的應(yīng)用橢偏廣泛用于研究處于各種不同環(huán)境中的材料的表面 ...
確定光學(xué)薄膜折射率和厚度盐固。因其準(zhǔn)確度高且為非破壞性測量,是測量光學(xué)薄膜折射率和厚度zui常用的一種測量儀器丈挟。橢圓偏振術(shù)的數(shù)學(xué)模型為式中:— 偏振角刁卜;Δ— 兩個偏振分量的相位差經(jīng)薄膜后所發(fā)生的變化;d — 薄膜厚度礁哄;n0— 空氣折射率;n1— 薄膜折射率溪北;n2— 襯底折射率桐绒;— 入射角度夺脾;— 入射光波長。和Δ分別反映了偏振光經(jīng)過薄膜反射前后強(qiáng)度和相位的變化茉继,統(tǒng)稱為橢偏角咧叭。目前,基于橢偏角的橢偏儀校準(zhǔn)方法主要采用的是空氣測量法烁竭》撇纾空氣測量法驗證橢偏角準(zhǔn)確度的過程是調(diào)整光譜型橢偏儀入射角,使入射光直接入射到其接收器派撕。由于偏振光直接經(jīng)過空氣進(jìn)入接收器婉弹,可以認(rèn)為偏振光狀態(tài)并未發(fā)生改變,因此上式右側(cè)的結(jié)果為 ...
1 — 空氣折射率终吼;n2 — 平行平晶折射率镀赌。求解上式可得:此時,我們能夠很容易發(fā)現(xiàn):橢偏角只與平行平晶的折射率相關(guān)际跪,因此商佛,只要確定了平行平晶的折射率即可得到橢偏角。下圖給出了使用折射率為1.46的平行平晶驗證光譜型橢偏儀橢偏角的實例姆打。其中被校橢偏儀的入射角度為65°,求解上式可得的理論值為14.48°, Δ 的理論值為0° ,實際測量結(jié)果與理論值相差不超 過 ±0.5°良姆。(a)橢偏角驗證結(jié)果 (b)橢偏角Δ驗證結(jié)果以上方法使用空氣和平行平晶作為標(biāo)準(zhǔn),對橢偏儀特定橢偏角的測量結(jié)果進(jìn)行驗證幔戏,但是這并不能保證橢偏角在全范圍內(nèi)的量值準(zhǔn)確可靠玛追。如果您對橢偏儀相關(guān)產(chǎn)品有興趣,請訪問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁 ...
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