中文：刻蝕批钠；英文：etching

上缭付，然后通過(guò)刻蝕的方法將圖形轉(zhuǎn)移到晶圓片上來(lái)制作電子電路的技術(shù)柿估。其中光刻系統(tǒng)被稱為光刻機(jī)，帶有圖形的石英板稱為掩膜陷猫，光敏記錄材料被稱為光刻膠或抗蝕劑秫舌。具體光刻流程如下圖所示 光刻技術(shù)是集成電路制造的妖、印刷電路板制造以及微機(jī)電元件制造等微納加工領(lǐng)域的核心技術(shù)之一。進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái),隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,集成電路的需求出現(xiàn)了井噴式的增長(zhǎng)足陨。使的對(duì)掩膜的需求急劇增加嫂粟，目前制作掩膜的主要技術(shù)是電子束直寫(xiě)，但該制作效率非常低下墨缘，并且成本也不容小覷星虹，在這種背景下人們把目光轉(zhuǎn)移到了無(wú)掩膜光刻技術(shù)。 備受關(guān)注的無(wú)掩膜光刻技術(shù)大概可以分為兩類：1）帶電粒子無(wú)掩膜光刻镊讼；例如電子束直寫(xiě)和離子束光刻技術(shù) ...

宽涌、超薄材料上刻蝕出小于200nm寬度的納米線，這樣超薄蝶棋、超窄的納米線卸亮，可以保證快速的熱弛豫過(guò)程。對(duì)于光子到脈沖的轉(zhuǎn)換過(guò)程我們看下面這幅圖嚼松，展示了光子打在超導(dǎo)材料上嫡良，產(chǎn)生熱點(diǎn)變?yōu)橛凶钁B(tài)锰扶，再轉(zhuǎn)變到超導(dǎo)態(tài)的整個(gè)過(guò)程献酗。在超導(dǎo)態(tài)下，納米芯片的兩端沒(méi)有產(chǎn)生電壓差或者說(shuō)電壓差很小坷牛，這時(shí)候罕偎，打入一個(gè)光子，在材料上產(chǎn)生熱點(diǎn)京闰，隨著能量的釋放颜及，原本沒(méi)有電壓差的兩端，這時(shí)候產(chǎn)生了電壓差蹂楣，并且電壓差持續(xù)增大俏站，直到這個(gè)熱點(diǎn)的能量逐漸降低，也就是說(shuō)的熱弛豫過(guò)程痊土，完成這一過(guò)程后肄扎，超導(dǎo)態(tài)逐漸恢復(fù)，兩端的電壓逐漸減小赁酝，如果將脈沖放大犯祠，我們得到下圖的脈沖信號(hào)。從上面的原理簡(jiǎn)述中酌呆，我們暫時(shí)還看不到探測(cè)效率如何衡载。對(duì)于探測(cè)效率更共識(shí)的一 ...

這可能是由于刻蝕和遷移過(guò)程所引起的。對(duì)于一個(gè)低于2V的注入偏壓來(lái)說(shuō)隙袁，拉曼光譜與原始光譜相似痰娱。然而當(dāng)外加電壓高于3V時(shí)弃榨，G峰和D峰都有明顯的增加并且在偏壓增加到3V時(shí)G峰從1580cm-1偏移到1603cm-1。G峰強(qiáng)度的增加對(duì)于通過(guò)注入的摻雜效應(yīng)是一個(gè)顯示梨睁，同時(shí)G峰上移23cm-1 表明了成功注入惭墓。D峰強(qiáng)度的增加表明注入過(guò)程中在石墨烯層缺陷的增加，這增強(qiáng)了注入的過(guò)程而姐。對(duì)于高于4V的偏壓腊凶，隨著2D峰的減弱出現(xiàn)了很強(qiáng)的熒光背景，這進(jìn)一步表明了注入過(guò)程中強(qiáng)有力摻雜效應(yīng)拴念。再去除外加電壓之后钧萍，石墨烯表面出現(xiàn)了和原始樣品相似的拉曼光譜。圖1. 離子液體注入多層石墨烯器件的原位拉曼測(cè)試：（a）原位拉曼測(cè)試過(guò) ...

功率飛秒激光刻蝕工藝實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)單且環(huán)保的 MoS2 QDs 制造政鼠。圖1 MoS2的光譜表征（a）MoS2量子點(diǎn)（紅色）风瘦、1T相塊狀MoS2(藍(lán)色)、2H相塊狀MoS2（紅色）的拉曼光譜（b）典型的MoS2納米片和上述方法制備的MoS2量子點(diǎn)的紫外-可見(jiàn)光譜（c）上述方法制備的MoS2量子點(diǎn)溶液分別在300nm,320nm,340nm和360nm激發(fā)光下的PL光譜上圖a 顯示了 1T 和 2H MoS2 的典型拉曼振動(dòng)公般，這表明通過(guò) n-BuLi 處理和激光燒蝕步驟成功實(shí)現(xiàn)了相變万搔。可以看出官帘，1T 相 MoS2 有三種拉曼振動(dòng)瞬雹，分別對(duì)應(yīng)J1、J2 和 J3 模式刽虹。由于成功相變到2H相酗捌，這些具有代表性的 ...

砂處理、化學(xué)刻蝕涌哲、等離子噴涂和激光加工等胖缤。這些加工方式都是通過(guò)改變鈦合金表面，獲得多維度紋理阀圾，凹坑哪廓、溝槽、深孔等幾種形貌組合初烘。結(jié)語(yǔ)：作為人體骨組織的有效替代品涡真，鈦的這些優(yōu)點(diǎn)已經(jīng)被認(rèn)可并被廣泛應(yīng)用。而鈦合金表面處理卻往往被人們忽視账月，通過(guò)對(duì)鈦合金的表面進(jìn)行處理综膀，改變鈦合金的表面形貌、微結(jié)構(gòu)局齿，可以提高鈦合金的生物相容性剧劝，讓人體組織更快速的附著在鈦合金表面生長(zhǎng)，從而幫助病人恢復(fù)健康抓歼。了解更多詳情讥此，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)上海昊量光電的官方網(wǎng)頁(yè)：http://www.wjjzl.com/three-level-37.html更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電關(guān)于昊量光電：上海昊量光電設(shè)備有限公司是光 ...

技術(shù)為氫氟酸刻蝕拢锹、噴砂、硅烷偶聯(lián)化等萄喳，一般認(rèn)為2.5%-10%的氫氟酸刻蝕玻璃陶瓷0.5-3 min卒稳，可獲得zui佳粘接強(qiáng)度，但氫氟酸對(duì)人體具有毒性和強(qiáng)腐蝕性他巨，且當(dāng)已粘固的口內(nèi)陶瓷修復(fù)體斷裂需要重新粘接時(shí)充坑，氫氟酸因其強(qiáng)腐蝕性無(wú)法用于口內(nèi)粘接前處理。Er:YAG激光是一種新出現(xiàn)的口腔治療激光染突，由于其高效捻爷、安全的切割能力，在牙科陶瓷材料表面處理方面有著巨大的應(yīng)用前景份企。1 Er:YAG激光作用于陶瓷材料表面處理的機(jī)制Er:YAG激光（鉺也榄、釔、鋁司志、石榴石）是一種水動(dòng)力生物激光系統(tǒng)甜紫，波長(zhǎng)為2.94 um。相比其他激光骂远，Er:YAG激光較為突出的特點(diǎn)為可對(duì)硬組織進(jìn)行作用囚霸，照射時(shí)可精確控制對(duì)深層組織的熱穿透 ...

保圖形的精確刻蝕至關(guān)重要邮辽。在光刻過(guò)程中，激光束需要精確地照射到硅片上的特定區(qū)域贸营，以實(shí)現(xiàn)圖形的準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移。如果激光指向不穩(wěn)定岩睁，會(huì)導(dǎo)致圖形位置偏移钞脂、尺寸變化等問(wèn)題，嚴(yán)重影響產(chǎn)品的質(zhì)量和性能捕儒。其次冰啃，激光指向的穩(wěn)定性還關(guān)系到光刻的重復(fù)性和一致性。在半導(dǎo)體制造中刘莹，往往需要對(duì)大量的硅片進(jìn)行光刻處理阎毅，這就要求光刻過(guò)程具有高度的可重復(fù)性和一致性。如果激光指向不穩(wěn)定点弯，每次光刻的結(jié)果都會(huì)有所差異扇调，導(dǎo)致產(chǎn)品批次間的性能不一致，增加了制造難度和成本抢肛。因此狼钮，激光指向的穩(wěn)定性在不斷提升的精度要求下顯得尤為重要碳柱。我們可以通過(guò)減小振動(dòng)和降低溫度變化等方式實(shí)現(xiàn)光束的相對(duì)穩(wěn)定，但這只是一種被動(dòng)的補(bǔ)償方式熬芜，而且無(wú)法徹底規(guī)避這些干擾莲镣。 ...

(ICP)中刻蝕20 μ m寬的多模波導(dǎo)。端面采用韌性切割制備涎拉。波導(dǎo)測(cè)量使用圖1 a)所示的設(shè)備進(jìn)行瑞侮。使用量子級(jí)聯(lián)激光器(QCL) (Block Engineering Inc.)在1900-800 cm-1(波長(zhǎng)5.3 - 12.9μm)范圍內(nèi)可調(diào)諧作為光源和兩個(gè)硒化鋅物鏡用于輸入和輸出耦合。在獲取透射光譜之前鼓拧，將QCL設(shè)置為12.9μm区岗，對(duì)準(zhǔn)后在紅外相機(jī)(Xenics-Gobi 640)上對(duì)波導(dǎo)輸出進(jìn)行成像，在TM偏振下的輸出強(qiáng)度分布如圖1b所示毁枯。模態(tài)強(qiáng)度分布(COMSOL)模擬顯示慈缔，沿x軸和y軸的FWHM分別為10.1μm和2.3μm。采用熱電冷卻型碲化汞鎘(MCT)探測(cè)器(VIGO系統(tǒng) ...

(ICP)中刻蝕20 μ m寬的多模波導(dǎo)种玛。端面采用韌性切割制備藐鹤。波導(dǎo)測(cè)量使用圖1 a)所示的設(shè)備進(jìn)行。使用量子級(jí)聯(lián)激光器(QCL) (Block Engineering Inc.)在1900-800 cm-1(波長(zhǎng)5.3 - 12.9μm)范圍內(nèi)可調(diào)諧作為光源和兩個(gè)硒化鋅物鏡用于輸入和輸出耦合赂韵。在獲取透射光譜之前娱节，將QCL設(shè)置為12.9μm，對(duì)準(zhǔn)后在紅外相機(jī)(Xenics-Gobi 640)上對(duì)波導(dǎo)輸出進(jìn)行成像祭示，在TM偏振下的輸出強(qiáng)度分布如圖1b所示肄满。模態(tài)強(qiáng)度分布(COMSOL)模擬顯示，沿x軸和y軸的FWHM分別為10.1μm和2.3μm质涛。采用熱電冷卻型碲化汞鎘(MCT)探測(cè)器(VIGO系統(tǒng) ...

諧振腔通常是刻蝕在基材上的小結(jié)構(gòu)件稠歉，在使用泵浦激光驅(qū)動(dòng)時(shí)可以生成光頻梳。雖然MRR的重復(fù)頻率可以達(dá)到很高的水平（圖1b）汇陆，但是它們也有重復(fù)頻率波動(dòng)和光頻不穩(wěn)定的問(wèn)題怒炸，這限制了長(zhǎng)時(shí)測(cè)距的精確度。西安光機(jī)所和華中科技大學(xué)的科研團(tuán)隊(duì)提出的解決方案時(shí)使用一個(gè)光纖光頻梳和一個(gè)MRR組成的DFC系統(tǒng)毡代，如 圖2所示阅羹。在這個(gè)系統(tǒng)中，一路調(diào)制的二極管激光（ECDL）用于MRR的泵浦源教寂。在探測(cè)用于檢測(cè)的樣品前MRR的輸出會(huì)經(jīng)過(guò)一個(gè)光纖放大器（EDFA）捏鱼。光纖光頻梳不僅提供了穩(wěn)定的本振源來(lái)用于解調(diào)，同時(shí)十分重要的是提供了參考信號(hào)用于鎖定泵浦激光器酪耕。Moku:Lab的激光鎖頻/穩(wěn)頻器（圖2中標(biāo)記為“Servo”）用于 ...