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相位偏折術(shù)/PDM/偏折測量(Deflectometry)技術(shù)簡介

發(fā)布時(shí)間:2024-06-26 10:31:17 瀏覽量:1030 作者:Jack

摘要

偏折測量技術(shù)(PDM)又稱為相位偏折術(shù)或條紋反射法虱疏,是一種非接觸式惹骂、低成本、高魯棒性且高精度的面形測量技術(shù),絕對檢測精度可達(dá)10-20nm RMS,可以用于平面订框、球面析苫、非球面、離軸拋物面穿扳、自由曲面等面型的高精度檢測。具有測量角度大国旷、非接觸矛物、精度高、速度快等特點(diǎn)跪但。

正文


相位偏折術(shù)/PDM/偏折測量(Deflectometry)技術(shù)簡介


摘要:

偏折測量技術(shù)(PDM)又稱為相位偏折術(shù)或條紋反射法履羞,是一種非接觸式、低成本屡久、高魯棒性且高精度的面形測量技術(shù),絕對檢測精度可達(dá)10-20nm RMS,可以用于平面忆首、球面、非球面被环、離軸拋物面糙及、自由曲面等面型的高精度檢測。具有測量角度大筛欢、非接觸浸锨、精度高、速度快等特點(diǎn)版姑。


偏折測量系統(tǒng)構(gòu)成:

相位偏折測量系統(tǒng)主要由ccd相機(jī) 柱搜、LCD顯示屏和待測件三個(gè)部分組成,系統(tǒng)配置如下圖剥险。LCD顯示屏投射提前生成好的結(jié)構(gòu)光正弦條紋聪蘸,正弦條紋被待測鏡表面反射后發(fā)生畸變,CCD相機(jī)采集畸變后的條紋表制,再利用相位斜率映射 關(guān)系從畸變的條紋圖中計(jì)算出待測鏡梯度信息健爬。zui后根據(jù)基梯度數(shù)據(jù)的面形重構(gòu)算法,重建出待測鏡的面形夫凸。

 


偏折術(shù)基本原理:

首先浑劳,LCD顯示設(shè)備顯示預(yù)先編碼的結(jié)構(gòu)光圖案(正弦光柵圖),被測物體表面按照光的反射定律反射這些結(jié)構(gòu)光夭拌,并被放置于另一角度的相機(jī)采集魔熏。

然后衷咽,通過上面所提到的折疊相位、絕對相位計(jì)算方法解調(diào)變形條紋中的相位信息蒜绽。

zui后镶骗,根據(jù)建立的相位—梯度—深度或相位—深度關(guān)系,以及標(biāo)定的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)參數(shù)得到被測物體的三維形貌數(shù)據(jù)躲雅。



偏折測量技術(shù)優(yōu)勢:

測量范圍寬:能夠測量平面鼎姊、球面、非球面相赁、離軸拋物面相寇、自由曲面等;

對環(huán)境噪聲不敏感:具有非常強(qiáng)的抗環(huán)境干擾钮科;

系統(tǒng)搭建簡單唤衫、性價(jià)比高:使用商業(yè)化的配件,對成像光路沒有特殊要求绵脯。

 

偏折測量技術(shù)現(xiàn)狀: 

在現(xiàn)實(shí)中佳励,偏折測量技術(shù)的實(shí)現(xiàn)是復(fù)雜的,因?yàn)橐环矫鎲我坏膱D像是不夠的蛆挫,而且還需要準(zhǔn)確地表征圖像的尺寸以及物體與觀察者之間的距離赃承。確實(shí),定義目標(biāo)發(fā)出的圖像和相機(jī)捕捉到的反射之間關(guān)系的數(shù)學(xué)公式是已知的悴侵,但它們包含太多的變量瞧剖,使得方程在實(shí)踐中只有一個(gè)解。這就是我們的創(chuàng)新之所在畜挨。我們開發(fā)了一種校準(zhǔn)方法筒繁,該方法實(shí)施簡單,效率很高巴元,可以充分表征測量系統(tǒng)毡咏,從而使被測物體反射的圖像可用。



上海昊量光電設(shè)備有限公司z新推出了一款具有特殊專li技術(shù)的偏折測量系統(tǒng)逮刨。該系統(tǒng)由一個(gè)計(jì)算機(jī)屏幕(瞄準(zhǔn)具)組成呕缭,參考圖像顯示在屏幕上。參考圖像的反射由照相機(jī)捕捉修己。顯示器和攝像頭連接到一臺計(jì)算機(jī)恢总,該計(jì)算機(jī)執(zhí)行重建表面所需的復(fù)雜計(jì)算。計(jì)算機(jī)睬愤、攝像機(jī)和攝像機(jī)的定位系統(tǒng)集成在一個(gè)盒子里片仿,結(jié)果顯示在顯示用戶界面的第二個(gè)屏幕上。該系統(tǒng)對震動尤辱,環(huán)境光等環(huán)境要求非常低砂豌,系統(tǒng)操作簡便厢岂,用戶可以在收到貨物后30分鐘內(nèi)上手操作。

 

偏折測量系統(tǒng)檢測精度:

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的偏折測量系統(tǒng)精度可達(dá)<15nm RMS或者優(yōu)于λ/40 RMS阳距。



結(jié)語:

隨著工業(yè)制造業(yè)發(fā)展塔粒,我國在航空航天、高端裝備制造筐摘、汽車工業(yè)卒茬、生物醫(yī)學(xué)與通信和微電子高科技等領(lǐng)域方面對鏡面和鏡面類等零件需求越來越大,其已經(jīng)成為了我國在通信行業(yè)的關(guān)鍵零件之一咖熟。制造過程中有一道必要工序就是面形檢測圃酵,目前的常用檢測方法存在檢測效率低,檢測精度不滿足要求等問題馍管。隨著上海昊量光電設(shè)備有限公司z新的相位偏折測量系統(tǒng)推出辜昵,可以有效助力科技項(xiàng)目。


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