德國(guó)TEM激光光束指向和位置穩(wěn)定系統(tǒng)介紹

一氓癌、產(chǎn)品概述

激光光斑漂移問題解析

德國(guó)TEM研發(fā)的激光束自動(dòng)穩(wěn)定系統(tǒng)-Aligna和ualigna系統(tǒng)使用2個(gè)PSD 2D探測(cè)光束指向和位置偏移量谓谦，閉環(huán)反饋控制快速反射鏡實(shí)時(shí)

補(bǔ)償光束偏移，反饋精度可達(dá)1urad贪婉，反饋帶寬>1kHz反粥。系統(tǒng)提供的自學(xué)習(xí)軟件算法可以適用于任意光路布置方案，并進(jìn)行快速優(yōu)化鎖

定疲迂，解決了機(jī)械振動(dòng)引起的位置漂移和高功率激光器引起的角度漂移才顿。Aligna系統(tǒng)大幅提高激光加工精度，并提供自動(dòng)校準(zhǔn)光路功能尤蒿。

目前廣泛應(yīng)用在太陽(yáng)能薄膜電池劃線郑气、PCB及柔性屏精密切割、激光精密打孔腰池、半導(dǎo)體晶圓在生產(chǎn)制造過程中的切割尾组、測(cè)量、曝光控

制等巩螃。 此系統(tǒng)已被Manz演怎、BOSCH匕争、三星避乏、LIS、TRUMPF甘桑、TOPTICA Photonics拍皮、等公司廣泛應(yīng)用。

二跑杭、多光路控制系統(tǒng)   

        快反鏡                              Kangoo控制軟件

系統(tǒng)配置：

? Piezo和Motor嵌套式快速反射鏡

? 4D 位敏探測(cè)器（光束位置和角度）

? 多光路控制機(jī)箱（包含快反鏡驅(qū)動(dòng)铆帽，探測(cè)信號(hào)處理模塊，PID調(diào)節(jié)器等）

? 軟件（自學(xué)習(xí)優(yōu)化算法德谅，全自動(dòng)閉環(huán)穩(wěn)定爹橱，光束坐標(biāo)及功率監(jiān)控）

系統(tǒng)特點(diǎn)：

? 連續(xù)波和脈沖激光器:  重復(fù)頻率 0.1 Hz- 200 MHz / 連續(xù)波 

? 模塊化系統(tǒng), 單裝置4光束控制 

? 反饋精度:    1 μm,  1 μrad   (最低可達(dá) 10-100 nm) 

? 超大掃描范圍:  接近 18° 

? 全波段 (標(biāo)準(zhǔn): 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 μm, THz),  任意光束直徑 

? 高速度:伺服頻寬超過 5 kHz ，壓電驅(qū)動(dòng)制動(dòng)器和機(jī)械裝置多種組合 

? 全計(jì)算機(jī)控制 (USB, 串口, 局域網(wǎng)) 窄做，完全獨(dú)立操作 

? 外部測(cè)量裝置連接件  (功率計(jì), PDs, ...)

三愧驱、單光路控制系統(tǒng)

系統(tǒng)配置：

Piezo和Motor嵌套式快速反射鏡

4D 位敏探測(cè)器（光束位置和角度）

單光路控制機(jī)箱（包含快反鏡驅(qū)動(dòng)慰技，探測(cè)信號(hào)處理模塊，PID調(diào)節(jié)器等）

軟件（自學(xué)習(xí)優(yōu)化算法组砚，全自動(dòng)閉環(huán)穩(wěn)定吻商，光束坐標(biāo)及功率監(jiān)控）

系統(tǒng)特點(diǎn)：

連續(xù)波和脈沖激光器:  重復(fù)頻率 15k Hz- 200 MHz / 連續(xù)波 

模塊化系統(tǒng), 單光路光束控制 

反饋精度:    1 μm,   1 μrad   (最低可達(dá) 10-100 nm) 

超大掃描范圍:  接近 18° 

全波段 (標(biāo)準(zhǔn): 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 μm, THz),  任意光束直徑 

高速度:伺服頻寬超過 5 kHz ，壓電驅(qū)動(dòng)制動(dòng)器和機(jī)械裝置多種組合 

全計(jì)算機(jī)控制 (USB, 串口, 局域網(wǎng)) 糟红，完全獨(dú)立操作 

外部測(cè)量裝置連接件  (功率計(jì), PDs, ...)
                 

四艾帐、產(chǎn)品應(yīng)用