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【新品發(fā)布】瑞士XRNanotech高精度、高性能X射線光柵

發(fā)布時間:2022-04-12 15:33:52 瀏覽量:3896


瑞士XRNanotech高精度必尼、高性能X射線光柵

X射線光柵在生命蒋搜、能源、材料判莉、環(huán)境豆挽、食品等領(lǐng)域中具有重要應(yīng)用,由于X射線光柵是非常精密的光學(xué)器件券盅,對制作工藝的要求很高帮哈,尤其是制作高質(zhì)量的二維X射線光柵的難度更大,因此锰镀,高質(zhì)量的二維X射線光柵倍受相關(guān)科研人員的期待娘侍。


XRnanotech在X射線光學(xué)研究和開發(fā)領(lǐng)域的最新創(chuàng)新,突破了可能的界限泳炉。依托Paul Scherrer研究所開發(fā)的專利技術(shù)憾筏,加上優(yōu)良的工程能力和高水平的質(zhì)量控制,造就了先進(jìn)的X射線光學(xué)關(guān)鍵器件花鹅,另外踩叭,依托于高精度加工技術(shù),可定制翠胰,系列產(chǎn)品比較豐富容贝。


通過銥線倍頻技術(shù)獲得最大分辨率

憑借線倍頻技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)精確到5nm的X射線束聚焦之景,從而成為目前紀(jì)錄的保持者斤富。有了如此精確的聚焦,X射線成像的分辨率達(dá)到高的水平锻狗,使得曾經(jīng)不可見的東西變得可見满力,并實(shí)現(xiàn)了全新的應(yīng)用焕参。該方法核心工藝是在反應(yīng)離子蝕刻剝離基底結(jié)構(gòu)之前,在稀疏模板上涂覆一層銥原子層油额。



利用閃耀光學(xué)方式優(yōu)化效率

光學(xué)器件的光子效率越高叠纷,透過的光子就越多,這意味著效率越高的光學(xué)器件可以為實(shí)現(xiàn)相同的目標(biāo)節(jié)省時間和能量潦嘶。與理論光子效率極限為40.5%的傳統(tǒng)二元光柵光學(xué)相比涩嚣,僅增加一階的閃耀光柵可以將極限提高到68.4%,而再增加一階的閃耀光柵可達(dá)81.1%掂僵。


基于電子束光刻的制造工藝航厚,而不是機(jī)械刻劃,可以輕松實(shí)現(xiàn)多階閃耀光柵的設(shè)計(jì)加工锰蓬。在實(shí)際加工過程中幔睬,XRnatotech已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了衍射波帶片的光子效率超過50%,而行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是5-10%芹扭,大多數(shù)比較先進(jìn)的技術(shù)最高也只達(dá)到25%麻顶。這樣,不僅可以將實(shí)驗(yàn)時間減半舱卡,推動科學(xué)進(jìn)步澈蚌,還可以將在大型X射線源上進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的成本減半。



金剛石光學(xué)的輻射穩(wěn)定性

在過去幾十年中灼狰,X射線源的亮度急劇上升,自由電子激光器的亮度達(dá)到太陽亮度的1億倍以上浮禾。這開辟了重要的研究領(lǐng)域交胚,但也暴露了不少X射線光學(xué)器件的關(guān)鍵局限性,在如此高的輻射能量下盈电,這些器件容易融化蝴簇。XRnanotech開發(fā)出一種方法,即用最耐熱的天然材料單片金剛石加工光學(xué)元件匆帚。金剛石光學(xué)可以輕松承受FEL X射線束的極duan強(qiáng)度熬词,從而緩解FEL實(shí)驗(yàn)中的這一瓶頸。



目前吸重,XRnanotech已為X射線廣泛應(yīng)用提供多種光學(xué)元件:




Zernicke相襯成像應(yīng)用:




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相關(guān)文獻(xiàn):

B. R?sner et al. Exploiting atomic layer deposition for fabricating sub-10 nm X-ray lenses Microelectronic Engineering 191 (2018) p. 91

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