一篇文章看懂：什么是SENIS完全集成3軸磁傳感器？
為了測(cè)量電磁鐵和永久磁鐵產(chǎn)生的從 10-6 到 102 T 的非均勻磁通密度拖陆，通常使用帶霍爾探頭的特斯拉計(jì)弛槐。為了同時(shí)測(cè)量磁通密度的三個(gè)正交分量，需要使用三軸霍爾探頭依啰。根據(jù)目前傳統(tǒng)的的技術(shù)水平乎串，三軸霍爾探頭由三個(gè)霍爾板組成，這三個(gè)霍爾板分別位于一個(gè)小立方體的三個(gè)相互正交的面上速警。單個(gè)霍爾板的尺寸及其定位公差嚴(yán)重限制了可實(shí)現(xiàn)的空間分辨率和測(cè)量磁通密度矢量的角度精度叹誉。此外，連接霍爾裝置的導(dǎo)線中的電磁感應(yīng)也限制了這種霍爾探頭的有用帶寬闷旧。此外长豁，平面霍爾效應(yīng)通常會(huì)產(chǎn)生額外的誤差。在基于量子阱的霍爾板中忙灼，平面霍爾效應(yīng)很弱匠襟，但問(wèn)題依然存在。
為了解決這個(gè)問(wèn)題该园，在一個(gè)點(diǎn)上檢測(cè)三個(gè)方向的磁性酸舍。SENIS開(kāi)發(fā)了一種劃時(shí)代的“完全集成3軸磁傳感器”，使之成為可能里初。這就是“完全集成的三軸磁傳感器”父腕。 該傳感器可以在所有情況下測(cè)量精確的3D矢量，例如永磁體的鄰近磁場(chǎng)青瀑、小線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)和時(shí)間變化璧亮，這在過(guò)去是不可能的。
圖1. 傳統(tǒng)的霍爾片3軸探頭（左）和SENIS完全集成3軸磁傳感器（右）
3軸磁性探頭的配置 | 傳統(tǒng)的霍爾片3軸探頭 | SENIS完全集成3軸磁傳感器 |
磁化位置 | 3個(gè)位置 | 一個(gè)位置（單點(diǎn)） |
磁感應(yīng)位置的錯(cuò)位量 | 取決于 傳感器位置（約0.5mm~10mm） | 無(wú)錯(cuò)位 |
傳感器的相對(duì)角度誤差 | 通常不標(biāo)注（過(guò)大） | ±0.1°以內(nèi) |
溫度傳感器 | 無(wú) | 安裝在傳感器芯片中 |
探頭形狀 | 約1~2種 | 8種類型+定制自由 |
一枝嘶、 完全專li技術(shù)的SENIS完全集成3軸磁傳感器
二、 SENIS完全集成三軸磁傳感器的功能
除了磁傳感器外哑诊，完全集成的3軸磁傳感器還集成了偏置電路和放大器群扶，以提高頻率特性和抗噪性，甚至在寬度僅為 0.64 m 的單個(gè)芯片上集成了溫度傳感器镀裤，用于因溫度變化而進(jìn)行靈敏度校正竞阐。
1.敏感區(qū)域僅為0.15mm × 0.1mm × 0.15mm
2.3個(gè)方向相對(duì)角度誤差在±0.1以內(nèi)
3.頻率響應(yīng)：高達(dá)25Khz（-3db）
4.溫度特性±100ppm/°C
三、 SENIS完全集成三軸磁傳感器放大圖
四．SENIS完全集成三軸磁傳感器詳細(xì)信息
圖2. 磁性傳感器內(nèi)部有5個(gè)感磁區(qū)域暑劝。通過(guò)取BZ1和BZ2的平均值骆莹，虛擬地求出By傳感器位置的Bz磁場(chǎng)。同樣地担猛，通過(guò)取Bx1和Bx2平均值來(lái)求出By傳感器位置的Bx磁場(chǎng)幕垦，可在同一點(diǎn)上收集Bx、By傅联、Bz先改。
五．搭配SENIS完全集成三軸磁傳感器的霍爾探頭類型：
| Hall Probe Type: | 類型 | External Dimensions（外殼尺寸）: L x W x H (mm) | 特點(diǎn) | |
Type A 1)
| 堅(jiān)固型 | 長(zhǎng)度：16.5 寬度：5.0
| 探頭表面到傳感器傳感器 的距離：1.0±0.1mm | |
Type C 2)
| 高溫測(cè)量型 | 長(zhǎng)度：8.0 寬度：4.0 | 探頭表面到傳感器傳感器 的距離：0.45±0.05mm 溫度 | |
Type H 3)
| 長(zhǎng)型1 | - HL長(zhǎng)度：71 - HM長(zhǎng)度：47 - HS長(zhǎng)度：8 | ||
Type K 4)
| 長(zhǎng)型2 | - KL長(zhǎng)度：71 - KM長(zhǎng)度：47 - KS長(zhǎng)度：8 寬度：2.0 | ||
Type L 5)
| 長(zhǎng)型3 | -LL長(zhǎng)度：71 -LM長(zhǎng)度：47
|
六．搭配SENIS完全集成三軸磁傳感器的高斯計(jì)/特斯拉計(jì)匯總類型：
SENIS數(shù)字特斯拉計(jì)/高斯計(jì)基于SENIS?的模擬磁場(chǎng)傳感器電子設(shè)備，其頂部添加了數(shù)字模塊蒸走，具有顯示器仇奶，通信端口，數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)校正等比驻。SENTIS提供不同類型的特斯拉計(jì)该溯，具有不同的磁性分辨率，精度嫁艇，f帶寬朗伶，噪聲水平和功能和處理選項(xiàng)（手持式，臺(tái)式步咪，機(jī)架式）
3MH3特斯拉計(jì)论皆，適用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，具有良好的精度猾漫，分辨率和f帶寬
3MH6臺(tái)式特斯拉計(jì)点晴，用于實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，具有非常高的分辨率和精度以及良好的f帶寬
3MTS 手持式特斯拉計(jì)悯周，探頭支架堅(jiān)固粒督，精度高
1 軸、2 軸或 3 軸 Nanoteslameter 3NTA1禽翼，用于極低磁場(chǎng)
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瑞士SENIS AG是一家領(lǐng)xian的公司屠橄，為磁場(chǎng)和電流測(cè)量提供智能族跛、精確的傳感器和儀器。我們?cè)O(shè)計(jì)先jin的解決方案锐墙，并確苯负澹客戶的系統(tǒng)具有創(chuàng)新性、優(yōu)化性和可靠性溪北。通過(guò)我們的產(chǎn)品桐绒，我們幫助控制能源消耗，為優(yōu)化綠色汽車平臺(tái)和系統(tǒng)做出貢獻(xiàn)之拨，為醫(yī)療設(shè)備提供高精度茉继，并不斷為向可持續(xù)未來(lái)的過(guò)渡做出貢獻(xiàn)。我們與客戶和大學(xué)合作蚀乔，利用尖端技術(shù)推動(dòng)創(chuàng)新烁竭。
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