高品質憔儿、大沖程、低磁滯放可、MEMS波前校正變形鏡谒臼！
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變形鏡肖爵，又稱變形反射鏡（DM），主要運用于各種自適應光學系統(tǒng)之中劝堪，主要用于校正波前畸變冀自，它由很多驅動單元組合而成，每個驅動單元都有自己獨立的控制器秒啦，在外加電壓控制下熬粗，變形鏡的鏡面可以產(chǎn)生需要的形變量余境，從而對波前像差進行調(diào)制驻呐。變形鏡在自適應光學系統(tǒng)中起著重要的作用，是自適應光學系統(tǒng)中的重要部件之一芳来。DM的指標參數(shù)關系到整個自適應光學系統(tǒng)的校正能力和校正精度含末。微變形反射鏡式可以根據(jù)波前調(diào)制的需要改變表面面形，從而糾正波前相位畸變佣盒，根據(jù)反射面的不同變形鏡可分為連續(xù)表面型和分立表面兩種類型。
我們是從法國Joseph Fourier 大學獨立出來的顽聂，主要研發(fā)電磁場驅動的MEMS變形鏡（Deformable Mirror）肥惭，具備高研發(fā)實力，可以根據(jù)客戶的不同應用需求定制個性化的變形鏡务豺。目前變形鏡的主要應用領域涵蓋了：天文領域、眼底成像嗦明、顯微成像笼沥、自由空間光通信、自適應光學娶牌、激光波前校正、天文望遠鏡诗良、天文觀測汹桦，天文自適應，大氣湍流校正鉴裹，激光自適應舞骆，虹膜定位钥弯、波前像差校正，眼科成像督禽、顯微成像自適應脆霎、球差校正、自由空間光通信等狈惫。
目前我們可以生產(chǎn)高達820個驅動數(shù)目的變形鏡，DM波前調(diào)制量可達80 μm胧谈，表面質量<7 nm RMS,采用目前前沿的拋光工藝忆肾，表面粗糙度<1 nm,變形鏡的響應時間只有500 us,帶寬可以達到20 KHz，MEMS變形鏡可以幫助用戶實現(xiàn)快速和精準的波前校正菱肖。
MEMS變形鏡結構緊湊、相較于波士頓蔑滓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調(diào)制量大低磁滯性< 1%,高線性度> 97%郊酒。相比于MEMS 靜電變形鏡來說，電磁驅動變形鏡相較于壓電變形鏡的優(yōu)點在于其巨大的變形量,更高的調(diào)制精度键袱。
MEMS變形鏡主要特點及技術優(yōu)勢
? 80 um 波前調(diào)制量
? 5 um 相鄰驅動調(diào)制量（可用于修正低級次大像差波前）
? < 7 nm RMS 表面質量
? MEMS 電磁驅動
? ± 1% 高穩(wěn)定性
? 400 us 高響應速度
? < 3% 高線性度
? < 2% 低磁滯性
? R> 97% 高質量鍍膜
圖一 相鄰驅動調(diào)制圖
圖二 變形鏡高表面質量
圖三 電磁驅動模型
圖四 高階澤尼克多項式修正
圖5 高調(diào)制穩(wěn)定性（±1% over 30s）
圖6 高質量鍍膜
MEMS變形鏡產(chǎn)品型號及參數(shù)
MEMS變形鏡控制器
MEMS可變形鏡配套低壓14-bit控制器
產(chǎn)品標簽：變形鏡,DM,Deformable Mirror,MEMS,變形反射鏡,波前像差,自適應,自適應光學,自適應光學系統(tǒng),天文,天文臺,MEMS技術,波前,波士頓,Imagin,微變形反射鏡
