高功率、高光束質(zhì)量是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器加工直接應(yīng)用的重要技術(shù)指標(biāo)晴圾。為了提高半導(dǎo)體激光器輸出光功率颂砸，目前有效的方式就是采用合束技術(shù)來提高半導(dǎo)體激光源的亮度及光束質(zhì)量。
高功率半導(dǎo)體激光器合束技術(shù)主要包括相干合束技術(shù)和非相干合束技術(shù)死姚。相干合束技術(shù)必須控制激光光源的相位,使每個(gè)發(fā)光單元以相同的光譜發(fā)射人乓，并且需要滿足遠(yuǎn)場干涉，因此該方法結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜都毒，相位的微小變化就會(huì)影響合束的效率。而非相干合束技術(shù)結(jié)構(gòu)相對(duì)簡單账劲，而且無需對(duì)光束的相位進(jìn)行控制戳护，它是通過空間合束、偏振合束以及波長合束等方法使多路半導(dǎo)體激光光束合成一路瀑焦，在保持光束質(zhì)量不變的情況下腌且，增加輸出功率，以達(dá)到提高系統(tǒng)亮度的目的榛瓮，是目前半導(dǎo)體激光器合束技術(shù)的主要方法铺董。
高功率半導(dǎo)體激光器的合束技術(shù)
1坝锰，空間合束
空間合束是利用反射鏡將不同的芯片發(fā)出來的光束，合并到同一個(gè)方向和相近的位置輸出的光束驻右∈埠冢空間合束后崎淳，僅僅改變的是光束的排列堪夭，每個(gè)合束的單元不會(huì)相互影響。
圖1-1 空間合束原理示意圖
合束過程中需要把激光器如圖1-1位置放置渣玲，其中光束1不需要經(jīng)過反射鏡反射帆调，可以直接傳輸?shù)?mark class="span_mark" data-type="1">耦合透鏡上，而光束2和光束3則需要分別經(jīng)過M2和M3進(jìn)行90度的反射爬迟，以相同的方向傳輸?shù)今詈贤哥R上，這樣光束2和光束3就可以和光束1在慢軸方向上疊加后耦合進(jìn)光纖菊匿「杜唬可以看出空間合束本身并不改變單個(gè)光斑的光束質(zhì)量，但是把所有的光束合成同一個(gè)光束時(shí)跌捆，可以看出來徽职，快軸方向的光束質(zhì)量沒有變化，而慢軸方向上多個(gè)光束緊密排列佩厚，加大慢軸方向的光參量積，所以在進(jìn)行空間合束時(shí)盡量將光斑之間的暗區(qū)減小抄瓦，從而提高激光輸出功率和激光亮度潮瓶。
2，波長合束
波長合束是將兩個(gè)以上不同波長的激光束通過合束器合束在一條光路钙姊，這種情況完全不改變光束的光束質(zhì)量毯辅，輸出功率加倍，大大增加了輸出光束的亮度煞额。合束所使用的器件一般都是通過鍍膜形成的帶通或者高通低通等波長合束器思恐。
圖2-1 波長合束示意圖
LD1經(jīng)過合束器1，合束器1在兩面的膜層都對(duì)LD1波長按照45度入射達(dá)到增透立镶；LD2經(jīng)過合束器1的反光面反射，該面的膜層不僅對(duì)LD1波長45度方向上的光具有增透作用媚媒，而且需要在45度反射方向有高的反射率嗜逻，保證該方向上LD2光損耗低；同樣道理缭召，合束器2的入光面需要對(duì)LD1和LD2的波長在45度方向上有高的透過率栈顷，在出光面和反光面上鍍制的膜層需要在45度方向上滿足LD1和LD2波長的高透和LD3波長的高反逆日。
不同波長的激光可以這種方法進(jìn)行合束，能夠極大的提高亮度萄凤，但是因?yàn)椴ㄩL不同室抽，使用起來也會(huì)受限制，并且限于渡膜的難度坪圾，合束的個(gè)數(shù)也不會(huì)太多。波長合束的關(guān)鍵技術(shù)在于波長合束器對(duì)光的反射和投射能力惑朦，想要獲得高的耦合效率兽泄，必須對(duì)鍍膜提出很高的要求，并且由于半導(dǎo)體激光器對(duì)于溫度的敏感性漾月，溫飄造成波長偏移病梢，如果合束器的波長選擇范圍較小，導(dǎo)致相近的波長耦合在一起的效率降低梁肿。
3蜓陌，偏振合束
目前商用的半導(dǎo)體激光器的光偏振度能達(dá)95%-98%，偏振合束是利用偏振合束器將兩束偏振態(tài)相互垂直的激光合成一束吩蔑，在保持光束質(zhì)量不變的情況下使功率密度加倍，從而提高激光輸出的亮度哥纫。
圖3-1 偏振合束原理示意圖
偏振合束器有晶體偏振棱鏡和薄膜干涉偏振分束鏡霉旗，晶體棱鏡中的格蘭泰勒棱鏡比其他的晶體透過率高，但是也和其他棱鏡有一樣的缺陷蛀骇，孔徑角小厌秒，導(dǎo)致耦合效率低，另外晶體偏振棱鏡的抗損傷閾值低擅憔，不適合用在高功率密度情況下鸵闪；由于分光鏡的出射光束不是相互垂直，且棱鏡底角范圍有一定限制暑诸，所以調(diào)節(jié)難度較大。而薄膜干涉型偏振分束鏡有更多的優(yōu)點(diǎn)个榕，例如安裝調(diào)整更方便篡石，增透膜的效率更高，只需要保證入射的兩束光具有相互垂直的偏振方向就能達(dá)到較好的合束效果西采。耦合所用的激光器一般是相同的芯片凰萨，在合成過程中需要將其中一束改變偏振方向，采用的是半波片，一種相位延遲器胖眷。當(dāng)光經(jīng)過半波片以后武通，引入了π的奇數(shù)倍相位延遲，出射光振動(dòng)方向發(fā)生了改變珊搀，仍然是線偏振光。當(dāng)入射的線偏振光的振動(dòng)方向與半波片的主軸方向成45°時(shí)境析，激光的偏振方向轉(zhuǎn)動(dòng)90°囚枪，與原來光的偏振方向互相垂直。則兩束光就可以以不同的偏振方向合束在一起簿晓，提升亮度眶拉。
4，總結(jié)
以上合束方法都可以實(shí)現(xiàn)光束能量的疊加憔儿，各有優(yōu)缺點(diǎn)。波長合束選擇波長合束器和合適波長的單元實(shí)現(xiàn)高效的合束光輸出放可，從理論上講可以無限的增加耦合的單元個(gè)數(shù)谒臼。但是由于器件對(duì)波長的選擇性耀里，使合束受到限制蜈缤；另外膜層的鍍制需要比較復(fù)雜，成本高冯挎；再有半導(dǎo)體激光器工作過程的波長隨溫度的變化導(dǎo)致透過波長合束器的效率降低底哥。偏振合束從理論上講房官，只有兩束激光可以合在一起趾徽，限制了光的亮度『彩兀空間合束相對(duì)來說方法簡單孵奶，其制約因素只有反射鏡的反射率，其原理是利用了光在快軸上光參量積小的優(yōu)勢了袁，填充了該方向上光纖的空余光參量積。但是調(diào)節(jié)時(shí)需要嚴(yán)格保證光束與光束之間不相互遮擋湿颅，并且光束之間的距離做到越小越好载绿。
現(xiàn)今大多數(shù)高功率半導(dǎo)體激光器廠商在生產(chǎn)激光器耦合模塊時(shí)，多采用空間合束方法油航。昊量光電獨(dú)jia代理的Cinogy光束質(zhì)量分析可以準(zhǔn)確實(shí)時(shí)的顯示光斑形狀及位置崭庸，有助于生產(chǎn)過程中確定光束排列是否緊密等問題。
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