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CCD的電荷存儲

發(fā)布時間:2022-02-15 13:49:05 瀏覽量:3850 作者:Leo

摘要

電荷耦合攝像器件(CCD)的突出特點是以電荷為信號的載體道盏,不同于大多數(shù)以電流或電壓為信號載體的器件而柑。CCD的基本功能是電荷的存儲和轉(zhuǎn)移,因此荷逞,CCD的基本工作過程主要是信號電荷的產(chǎn)生媒咳、存儲、轉(zhuǎn)移和檢測种远。 CCD有兩種類型涩澡,一種是表面溝道類型(SCCD),電荷包存儲在半導(dǎo)體與絕緣體之間的界面坠敷,并沿界面轉(zhuǎn)移筏养;另一種是體溝道或埋溝道類型(BCCD),電荷包存儲在離半導(dǎo)體表面一定深度的體內(nèi)常拓,并在半導(dǎo)體內(nèi)沿一定方向轉(zhuǎn)移渐溶。

正文


ccd的電荷存儲

構(gòu)成CCD的基本單元是MOS(金屬-氧化物-半導(dǎo)體)結(jié)構(gòu)。如下圖弄抬,在柵極不施壓的情況下茎辐,P型半導(dǎo)體中多數(shù)載流子空穴的分布是均勻的。在柵極施加小于P型半導(dǎo)體閾值電壓Uth時掂恕,在半導(dǎo)體內(nèi)產(chǎn)生耗盡區(qū)拖陆。當(dāng)柵極電壓繼續(xù)增加,并大于閾值電壓后懊亡,耗盡區(qū)的深度和柵極電壓成正比依啰。


將半導(dǎo)體與絕緣界面上的電勢記為表面電勢Φs,表面電勢隨著柵極電壓Ug的增加而增加店枣。下圖描述了二者在不存在反型層電荷時速警,不同氧化層厚度下表面電勢和柵極電壓之間的關(guān)系。從曲線中看出鸯两,氧化層厚度越薄闷旧,曲線的直線性越好。


當(dāng)柵極電壓Ug不變時钧唐,表面電勢Φs和反型層電荷密度Qinv之間的關(guān)系忙灼。下圖可以看出,Φs隨著Qinv的增加而線性減小。電子之所以被吸附到半導(dǎo)體和氧化層的交界面處该园,是因為那里的勢能最低酸舍。



在空勢阱情況下,不存在反型層電荷里初,如圖(a)父腕;當(dāng)反型層電荷填充1/3勢阱時,表面勢收縮青瀑,如圖(b)璧亮;當(dāng)反型層電荷足夠多時,表面勢減少到最低斥难,表面勢不再束縛多余電子枝嘶,產(chǎn)生溢出,如圖(c)哑诊。



因此群扶,表面勢可以作為電子深度的量度,而表面勢又和電壓镀裤、氧化層厚度有關(guān)竞阐,即和MOS電容的容量Cox和Ug的層級有關(guān)。勢阱的橫截面積取決于柵極電壓的面積A有關(guān)暑劝。MOS電容存儲信號電荷的容量為:

Q=Cox*Ug


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