1987年姊扔，Larry Hornback博士用他天才的智慧設(shè)計(jì)了DMD系統(tǒng)惠奸。近年以來(lái)，隨著關(guān)于DMD研究的深入恰梢，在越來(lái)越多的領(lǐng)域發(fā)揮著重
要的作用佛南，這顆MEMS技術(shù)之光，發(fā)出越來(lái)越耀眼的光芒嵌言。
很多時(shí)候摧茴，看似平凡的物件绵载，你越是用心去了解，你就越能發(fā)現(xiàn)它的美與不平凡苛白。DMD（Digital Micromirror Device）數(shù)字微鏡系
統(tǒng)芯片也許能算得上這樣一個(gè)角色娃豹，一塊只有指甲蓋大小的鏡片，看似普普通通购裙，但你可別太小瞧它懂版。
圖一：DMD芯片模組
出身名門
DMD芯片由德州儀器（TI）公司研發(fā)，德州儀器公司目前全世界最大的模擬芯片公司躏率，被譽(yù)為是推動(dòng)因特網(wǎng)不斷發(fā)展的半導(dǎo)體引擎躯畴。
起初，為了獲得更高品質(zhì)的顯示薇芝，1987年蓬抄，Larry Hornback博士用他天才的智慧、高超的工藝水準(zhǔn)和極為嚴(yán)苛的品質(zhì)精神設(shè)計(jì)了
DMD芯片夯到。使得DMD在MEMS（Micro-Electro-Mechanical-System）微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域成為當(dāng)之無(wú)愧的科技之光嚷缭。
圖二：DMD微鏡單元的工作原理和結(jié)構(gòu)
能力出眾
如何保證DMD芯片能勝任各種各樣的使用環(huán)境，在設(shè)計(jì)之初黄娘，設(shè)計(jì)師就對(duì)DMD的性能提出了極高的要求峭状，這才使得DMD擁有出彩的
性能。
- 苛刻的品質(zhì)要求：能在65℃環(huán)境下工作逼争，上限工作溫度85℃优床；支持160瓦光功率；能在20G加速度下正常工作誓焦，完成10000G加速?zèng)_
擊試驗(yàn)胆敞；同時(shí)TI對(duì)DMD在承受應(yīng)力，光強(qiáng)杂伟，靜電移层、紫外輻射……諸多方面都進(jìn)行了測(cè)試。
- 極高的響應(yīng)速度：每秒顯示二進(jìn)制圖片幀數(shù)達(dá)5萬(wàn)次赫粥。在實(shí)時(shí)控制模式下观话，從圖形數(shù)據(jù)讀取到顯示的時(shí)延小于1500μs；
- 超長(zhǎng)的設(shè)計(jì)壽命：鉸鏈的設(shè)計(jì)使用壽命超過(guò)120000小時(shí)越平，鉸鏈偏轉(zhuǎn)超1012次频蛔。
- 高品質(zhì)的顯示：可以提供1670萬(wàn)種顏色，256灰度等級(jí)的圖像顯示秦叛，保真度高晦溪，色彩細(xì)膩。
在幾微米的尺寸上挣跋，集成了鋁制微鏡三圆、鉸鏈、彈性墊片避咆、cmos存儲(chǔ)單元舟肉。數(shù)以百萬(wàn)的微鏡，做到?jīng)]有缺陷牌借，在數(shù)字信號(hào)的控制下度气，
以極快的速度做到協(xié)調(diào)統(tǒng)一。這些特點(diǎn)的綜合膨报，造就了DMD芯片卓越的品質(zhì)和穩(wěn)定性磷籍。讓DMD在響應(yīng)速度、調(diào)制精度现柠、使用壽命院领、成
像亮度、均一性等諸多方面够吩，其他任何一款空間光調(diào)制器不能望其項(xiàng)背比然。
應(yīng)用廣泛
三維掃描：機(jī)器視覺(jué)的形成，少不了對(duì)目標(biāo)三維圖像的捕捉周循。牙齒矯正强法，零部件加工等都需要獲得目標(biāo)精細(xì)的三維結(jié)構(gòu)万俗。FPGA芯片具
有高速、并行的特點(diǎn)饮怯，而DMD芯片闰歪，可以產(chǎn)生高品質(zhì)的結(jié)構(gòu)光，基于DMD的三維掃描蓖墅，具有速度快库倘，準(zhǔn)確度高等特點(diǎn)。
3D打勇鄯：基于DMD芯片的3D打印教翩，相較于傳統(tǒng)的打印模式。具有精度高贪壳，速度快饱亿，即使打印復(fù)雜模型，也能達(dá)到比較高的質(zhì)量標(biāo)
準(zhǔn)寥袭÷放酰可以適應(yīng)大物件和細(xì)微特診結(jié)構(gòu)的打印，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在打印醫(yī)用人體植入物传黄、消費(fèi)電子等諸多領(lǐng)域杰扫。
無(wú)掩膜光刻：傳統(tǒng)光刻掩膜制作難度大、價(jià)格昂貴膘掰。DMD空間光調(diào)制器具有靈活章姓、高速、可編程等特點(diǎn)识埋》惨粒可以通過(guò)對(duì)DMD芯片圖形的
編程，控制DMD的衍射圖像窒舟，從而取代傳統(tǒng)光學(xué)掩膜系忙。簡(jiǎn)化傳統(tǒng)光刻的復(fù)雜流程，減低成本惠豺。
光譜分析： DMD芯片上的每個(gè)像素都可以通過(guò)編程進(jìn)行控制银还，可以對(duì)光線進(jìn)行有選擇的衰減，通過(guò)DMD控制洁墙，篩選所需要的光譜蛹疯。
同時(shí)因?yàn)镈MD芯片，體積小热监，耗能小等特點(diǎn)捺弦，集成DMD芯片的光譜儀可以做成便攜式。
除了以上這些已經(jīng)比較成形的領(lǐng)域，DMD芯片還在航天與國(guó)防列吼、結(jié)構(gòu)光超分辨幽崩、波分復(fù)用、光學(xué)主動(dòng)變焦寞钥、彩色三維全息等領(lǐng)域有很好的應(yīng)用前景歉铝。近些年以來(lái)，隨著對(duì)DMD的研究逐漸深入凑耻，對(duì)高品質(zhì)空間光調(diào)制需求的增加和大量與DMD芯片有關(guān)的科學(xué)論文的發(fā)表，DMD芯片出色能力被越來(lái)越多的領(lǐng)域所發(fā)掘柠贤。DMD芯片從軍工香浩，逐漸走向民用，越來(lái)越多的出現(xiàn)在我們生活的方方面面臼勉。
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